华卫群
- 作品数：4 被引量：3H指数：1
- 供职机构：中国电子科技集团第五十八研究所更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- IC工艺用超纯水系统的TOC实验研究被引量：1
- 2003年
- 从运行管理角度,以实验方法考察了IC工艺用超纯水制造过程中TOC(总有机碳)的若干问题。通过在线测量一次纯水、二次纯水的TOC含量和相应的数据统计,评估了水平各异的两套超纯水制造系统中各主要装置对TOC的除去效率及其对TOC的影响。
- 王铁坤华卫群
- 关键词：IC工艺TOC总有机碳
- 深亚微米工艺用二次纯水系统
- 2002年
- 本文介绍了深亚微米工艺用二次超纯水系统主要工艺流程及其各部分的作用。比较了一次纯水电阻率,二次纯水电阻率及二次纯水 TOC 含量的相互关系。讨论了半导体集成电路制造工艺对超纯水的水质要求以及水中杂质对半导体工艺的影响。
- 王铁坤华卫群孙勇山
- 关键词：深亚微米
- 洁净厂房运行管理中的节能问题被引量：2
- 2005年
- 本文根据运行管理的实践体会,讨论了空调净化厂房运行管理中节能的若干问题。通过空气状态参数分析及其与空调能耗相互关系的探讨,在洁净空调厂房运行中采取了适当的节能措施,以确保在满足工艺生产要求的前提下,将空调能耗水平降到最低。文章最后以数据统计方式,考察了2003 年全年和2004年1月至7月同期的空调能耗状况,阐述了上述诸多节能措施的实际节能效果。
- 华卫群王铁坤蔡蕾
- 关键词：运行管理节能
- IC工艺用超纯水系统的TOC实验研究
- 本文针对IC工艺用超纯水,从运行管理角度,以实验方法考察了超纯水制造过程中TOC(总有机炭)的若干问题.通过在线测量一次纯水、二次纯水的TOC含量和相应的数据统计,评估了水平各异的二套超纯水制造系统中各主要装置对TOC的...
- 王铁坤华卫群
- 关键词：超纯水集成电路工艺
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