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张燕

作品数：6 被引量：11H指数：3
供职机构：河北工业大学电子信息工程学院更多>>
发文基金：国家中长期科技发展规划重大专项河北省教育厅科研基金河北省教育厅项目更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

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河北工业大学电子信息工程学院
研究主题：化学机械抛光 CMP 去除速率 卷积神经网络 抛光液
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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