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安其

作品数：8 被引量：6H指数：2
供职机构：北京北仪创新真空技术有限责任公司更多>>
发文基金：上海市引进技术的吸收与创新计划项目上海市博士后科研资助计划资助更多>>
相关领域：一般工业技术电子电信理学动力工程及工程热物理更多>>

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北京北仪创新真空技术有限责任公司
研究主题：分子泵 真空镀膜设备 真空室 真空技术 镀膜
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