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霍宗亮

作品数:355 被引量:18H指数:2
供职机构:中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金:国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
相关领域:自动化与计算机技术电子电信电气工程一般工业技术更多>>
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中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
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北京大学
研究主题:影响因素 实证研究 企业 英文 高校
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清华大学
研究主题:数值模拟 碳纳米管 存储介质 电力系统 网络
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北京大学信息科学技术学院微电子研究院
研究主题:英文 集成电路 SOI MOSFET 硅
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中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 非挥发性存储器 X射线 衍射光栅
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