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杨斌

作品数：19 被引量：12H指数：3
供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术动力工程及工程热物理更多>>

合作作者

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中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题：碳化硅 芯片 金属 外延层 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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