2024年8月26日
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李莹
作品数:
84
被引量:24
H指数:3
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家科技重大专项
北京市自然科学基金
北京市科技新星计划
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
文化科学
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合作作者
陈岚
中国科学院微电子研究所
罗家俊
中国科学院微电子研究所
韩郑生
中国科学院微电子研究所
龚关飞
中国科学院微电子研究所
俞雪婷
中国科学院微电子研究所
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相关作者
所获基金
研究领域
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中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
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