许晓青
- 作品数:87 被引量:27H指数:4
- 供职机构:中国电子科技集团第十三研究所更多>>
- 相关领域:机械工程自动化与计算机技术一般工业技术电子电信更多>>
- 矢量网络分析仪S参数测量不确定度的确定方法
- 本发明公开了一种矢量网络分析仪S参数测量不确定度的确定方法,涉及矢量网络分析仪的校准方法技术领域。所述方法通过MCM仿真实现,避免了使用GUM法评定不确定度时需要考虑S参数间相关性的问题和使用经验算法得到的不确定度不完善...
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- 文献传递
- 接触式台阶仪探针检测图形样块
- 本发明公开了一种接触式台阶仪探针检测图形样块,涉及台阶仪测量技术领域,包括探针性能检查图形和扫描位置检查图形,探针性能检查图形设计成W型和M型分布在样块左右两个扫描区域,M型和W型台阶结构线条分别与水平方向呈30°、60...
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- 可焊性试验台的校准及不确定度分析
- 性试验台是一种热学的专用测试设备,主要用来测定那些在连接时要用低熔点焊接的器件引线的可焊性,以及确定元件承受由焊接元件引线端头产生的热应力的能力.文章给出了对可焊性试验台的温度和夹具速度进行校准的方法,并给出了测量不确定...
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- 关键词:校准方法技术指标测量不确定度
- 一种图像配准方法、图像配准装置及终端
- 本发明适用于图像处理技术领域,提供了一种图像配准方法、图像配准装置及终端,所述图像配准方法包括:获取平移图样,根据平移图样上的每个平移点对目标图像进行平移配准,得到多个候选图像,计算各个候选图像与指定基准图像的互相关度,...
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- 文献传递
- 基于二氧化硅的微米级线距样片制备被引量:2
- 2018年
- 设计了微米级线距样片的图形结构和制作工艺流程,制作了周期尺寸为(1~10)μm的线距样片。以周期尺寸为1μm和10μm的样片为例对样片的直线度、均匀性和稳定性等质量参数进行了考核。结果表明,研制的线距样片尺寸与设计值基本一致,稳定性好,与美国VLSI公司的标准样片进行了结果对比,本文研制的线距样片与VLSI的标准样片质量相当。
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- 关键词:直线度均匀性稳定性
- 纳米尺寸的线距标准样片及其制备方法
- 本发明涉及半导体技术领域,具体公开一种纳米尺寸的线距标准样片,包括基板和设置于所述基板上的光栅图形区,还包括位于所述光栅图形区外的三级光栅循迹标志,通过三级循迹标志可以快速准确找到光栅有效区域,解决现有标准样片无法快速找...
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- 文献传递
- AFM探针测量方法、装置、控制设备及存储介质
- 本发明提供一种AFM探针测量方法、装置、控制设备及存储介质。该方法包括:利用AFM探针扫描待测线条,得到待测线条的待测曲线;以待测曲线的顶点为中心,确定待测线条的左侧待测曲线和右侧待测曲线;以AFM的横向分辨率为步进,分...
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- 基于蒙特卡洛法的砝码校准不确定度评定被引量:9
- 2013年
- 当采用不确定度传播律进行测量不确定度评定(GUM)感到困难或不方便时,蒙特卡洛法是实用的替代方法。在GUM建立数学模型、设定输入量概率密度函数的基础上,通过对概率分布随机采样进行分布传递,确定输出量的概率密度函数,从而得到输出量的估计值、标准不确定度以及在指定包含概率下的包含区间,实现对测量不确定度的评定。通过砝码折算质量偏差测量不确定度评定实例,说明了采用蒙特卡洛法进行测量不确定度评定的实现方法,并与GUM方法和规程中的方法进行了比较。
- 韩志国李锁印冯亚南许晓青
- 关键词:蒙特卡洛法测量不确定度评定
- 基于多层膜沉积的寻迹式线宽标准样片及其制备方法
- 本发明适用于微纳米测量仪器计量技术领域,提供了一种基于多层膜沉积的寻迹式线宽标准样片及其制备方法,该寻迹式线宽标准样片包括:依次设置的第一衬底样片、多层介质层和第二衬底样片;第一衬底样片的第一面上设置多个第一凹槽,每个第...
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- 文献传递
- 基于蒙特卡洛法的常用玻璃量器容量测量结果不确定度评定被引量:4
- 2013年
- 采用蒙特卡洛方法 (MCM)对常用玻璃量器容量测量结果的不确定度进行评定,建立了数学模型,分析了各不确定度分量,编写了评定程序,并将评定实例结果与GUM方法评定的结果进行了比较。
- 赵琳李锁印许晓青韩志国冯亚南
- 关键词:常用玻璃量器测量不确定度