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杨正兵

作品数：33 被引量：16H指数：3
供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
发文基金：国际科技合作与交流专项项目更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术电气工程理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 23篇专利
  • 7篇期刊文章
  • 2篇会议论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 6篇电子电信
  • 4篇一般工业技术
  • 1篇电气工程
  • 1篇理学

主题

  • 12篇体声波
  • 11篇电极
  • 11篇谐振器
  • 11篇滤波器
  • 9篇体声波谐振器
  • 9篇薄膜体声波谐...
  • 8篇声表面波
  • 7篇压电薄膜
  • 6篇化学机械抛光
  • 6篇机械抛光
  • 5篇体声波滤波器
  • 5篇键合
  • 5篇封装
  • 5篇SAW
  • 4篇声表面波器件
  • 4篇牺牲层
  • 4篇键合工艺
  • 4篇封装结构
  • 3篇调谐
  • 3篇压电石英

机构

  • 33篇中国电子科技...
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 33篇杨正兵
  • 17篇冷俊林
  • 13篇马晋毅
  • 12篇杨增涛
  • 9篇赵建华
  • 8篇曹亮
  • 8篇傅金桥
  • 8篇张龙
  • 7篇唐代华
  • 7篇陈运祥
  • 7篇周勇
  • 7篇陈小兵
  • 7篇何西良
  • 6篇金中
  • 5篇朱明
  • 5篇李燕
  • 4篇李磊
  • 4篇周卫
  • 4篇米佳
  • 4篇伍平

传媒

  • 7篇压电与声光
  • 1篇2008促进...

年份

  • 1篇2022
  • 2篇2019
  • 3篇2018
  • 2篇2017
  • 1篇2016
  • 2篇2015
  • 6篇2013
  • 3篇2012
  • 11篇2011
  • 2篇2008
共 33 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
可调谐的预设空腔型SOI基片薄膜体声波谐振器及制作方法
本发明公开了一种可调谐的预设空腔型SOI基片薄膜体声波谐振器及制作方法，涉及一种频率可调谐的谐振器及制作方法，包括带空腔SOI基片和设置其上的压电薄膜换能器，谐振器包括压电薄膜、底电极和顶电极，底电极靠预设空腔一侧设置有...
杨增涛马晋毅冷俊林杨正兵赵建华陈小兵陈运祥周勇傅金桥张龙
一种应用于高频声表面波器件划片工艺的静电消除结构
本实用新型提供的应用于高频声表面波器件划片工艺的静电消除结构，包括晶圆和若干个高频声表面波器件；高频声表面波器件包括正电荷汇流条和负电荷汇流条，高频声表面波器件并排相邻设置在该晶圆上，相邻的两个高频声表面波器件中，一高频...
金中李磊李燕杨正兵刘娅何西良曾祥君唐代华曹亮
文献传递
高频声表面横波谐振器研制被引量：2
2013年
声表面横波具有比瑞利波高1.6倍的波速,声表面横波谐振器具有一阶温度系数(TFC)为0,工作频率高,损耗小,耐功率能力强及振动灵敏度低等特点。该文叙述了声表面横波工作原理,研制出了频率达到1 439MHz、1 989MHz、2 491MHz的声表面横波谐振器。
周卫杨正兵曾武付金桥汤旭东朱明陈峻伍平邵静
关键词：谐振器损耗
一种射频声表面波滤波器倒装焊结构
本实用新型公开了一种射频声表面波滤波器倒装焊结构，包括芯片和陶瓷基板，所述陶瓷基板上设有镀金焊盘，所述焊盘上设有锡膏层，在焊盘周围的陶瓷基板上设有绝缘层；在芯片的焊接面植有金球，所述芯片通过金球与锡膏层相焊接的方式与陶瓷...
金中何西良曾祥君杨正兵肖立
文献传递
光刻工艺的显影方法
本发明公开了一种光刻工艺的显影方法，包括：旋转步骤：以第一速度旋转声表面波晶片；第一次滴注步骤：移动显影液手臂至所述声表面波晶片的边缘处并开始滴注显影液；移动步骤：将显影液手臂从声表面波晶片的边缘移动至声表面波晶片的中心...
李燕曹亮杨正兵唐代华李磊张华
文献传递
预设空腔型SOI基片薄膜体声波谐振器及制作方法
本发明公开了一种预设空腔型SOI基片薄膜体声波谐振器及制作方法，涉及微电子器件领域，包括带空腔SOI基片和设置其上的压电薄膜换能器，谐振器包括压电薄膜、底电极和顶电极，谐振器电极近似椭圆形；所述带空腔SOI基片中的衬底硅...
杨增涛马晋毅冷俊林赵建华杨正兵江洪敏傅金桥张龙周益民
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高声速SAW金刚石复合结构材料及器件研究
本文阐述了高声速 SAW 复合结构材料 SiO/ZnO/金刚石/Si 及其器件的研究进展情况,给出了谊复合结构材料及其器件的制作方法和实验结果。ZnO 膜体电阻率 p 达到1.9×10Ω.cm。ZnO 薄膜 C 轴垂直取...
陈运祥秦廷辉谭学斌杨正兵伍平杜明熙周勇冷俊林
关键词：金刚石相速度
文献传递
SAW-MEMS加速度传感器
本实用新型公开了SAW-MEMS加速度传感器，涉及微电子惯性器件领域，加速度传感器包括SAW金属叉指换能器、带有悬臂微梁的水晶片以及预设沟槽的硅基片，SAW金属插指换能器制作于水晶片内的悬臂微梁上，悬臂微梁键合在预设沟槽...
杨增涛卜继军马晋毅肖凯陈小兵董加和杨正兵冷俊林赵建华王勇江黎
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一种微型声表面波滤波器基板封装结构
一种微型声表面波滤波器基板封装结构，包括基板，在该基板上安装有树脂外壳，该基板的材料为树脂，该树脂的热膨胀系数为6.8ppm/k～7.2ppm/k，基板的热膨胀系数与微型声表面波滤波器的热膨胀系数基本一致，热胀冷缩时不会...
金中何西良曹亮唐代华杨正兵
文献传递
一种声表面横波谐振滤波器
本申请公开了一种声表面横波谐振滤波器，包括压电石英基片，其特征在于，压电石英基片上的依次梳状设置有第一反射器、第一换能器、中间短路栅、第二换能器及第二反射器作为压电石英基片的拓扑结构，第一换能器的两端分别设置有第一电极及...
周卫杨正兵朱明黎亮米佳冷俊林段伟吴雪梅 刘冬梅
文献传递
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