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张孟莎

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
发文基金：深圳市科技计划项目更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 1篇倒片
  • 1篇英寸
  • 1篇圆片
  • 1篇图像
  • 1篇图像处理
  • 1篇晶圆
  • 1篇晶圆片
  • 1篇控制器
  • 1篇激光
  • 1篇激光切割
  • 1篇PID整定
  • 1篇PLC控制
  • 1篇PLC控制器
  • 1篇PMAC

机构

  • 2篇哈尔滨工业大...

作者

  • 2篇张孟莎
  • 1篇刘凯
  • 1篇胡泓

传媒

  • 1篇机械与电子

年份

  • 2篇2010
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
水导激光切割机控制系统的设计与研究
电子元件的基础材料晶圆片的切割是半导体产业中极为重要的一道工序,随着晶圆基片尺寸的增大、厚度的减小及划线尺寸的细化,原有切割技术的弊端逐渐暴露。水导激光切割作为一种新型的切割技术将激光聚焦后导入比发丝还细的微水柱中来切割...
张孟莎
关键词：PMAC图像处理PID整定
文献传递
六英寸晶圆片自动倒片系统的设计与实现
2010年
介绍了六英寸晶圆片倒片系统的设计、及其控制系统硬件构成和软件编程.运行结果表明,系统稳定性好,可靠性高,满足实际的工业生产要求.
张孟莎胡泓刘凯
关键词：PLC控制器
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