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刘凯

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：哈尔滨工业大学深圳研究生院更多>>
发文基金：深圳市科技计划项目更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇倒片
  • 1篇英寸
  • 1篇圆片
  • 1篇晶圆
  • 1篇晶圆片
  • 1篇控制器
  • 1篇PLC控制
  • 1篇PLC控制器

机构

  • 1篇哈尔滨工业大...

作者

  • 1篇刘凯
  • 1篇胡泓
  • 1篇张孟莎

传媒

  • 1篇机械与电子

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
六英寸晶圆片自动倒片系统的设计与实现
2010年
介绍了六英寸晶圆片倒片系统的设计、及其控制系统硬件构成和软件编程.运行结果表明,系统稳定性好,可靠性高,满足实际的工业生产要求.
张孟莎胡泓刘凯
关键词：PLC控制器
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