张琼
- 作品数：10 被引量：10H指数：2
- 供职机构：闽南理工学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程理学更多>>
- 基于隧道效应的MEMS陀螺仪的研究被引量：2
- 2010年
- 提出了一种高精度、低量程隧道陀螺仪的新结构,分析了其结构及工作原理;对陀螺进行了必要的仿真,仿真结果与理论推导相接近,这样就实现了隧道效应传感器的高灵敏度与哥氏力测量角速度原理的结合。采用体硅工艺设计了陀螺仪版图,并对其进行流片加工。加工完成后,采用HP4156C高精度半导体参数测试仪对传感器的隧道电流效应进行了测试,并验证了其测试结果;同时,对结构进行失效分析。
- 石云波张琼罗源源刘俊
- 关键词：陀螺仪
- 电容式微机械陀螺仪的设计与仿真分析被引量：1
- 2011年
- 提出了一种静电梳齿驱动、电容检测的微机械陀螺仪,分析了其工作原理。同时,通过陀螺进行了必要的仿真和相关的分析计算,并根据加工工艺的要求,得到合理的结构。采用体硅标准工艺设计了陀螺的工艺版图,对其进行了封装分析。
- 张琼
- 关键词：陀螺仪电容式
- 一种高精度低量程隧道陀螺仪的隧道电流效应分析
- 2009年
- 针对微卫星所用高灵敏、低量程陀螺的需求,提出了一种高精度低量程隧道式陀螺仪的新结构,对隧道陀螺的基本组成部件进行了详细的分析,并介绍了其工作原理.设计了隧道陀螺仪的隧道电流测试方案,采用HP 4156C高精度半导体参数测试仪对传感器的隧道电流效应进行了测试,并对隧道电流效应进行了理论分析,在此理论分析的基础上对测试数据进行了归纳与分析,得到器件势垒高度的值分别为0.518 eV,0.555 eV.验证结果表明:本结构隧道电流效应明显,器件有较高的灵敏度.
- 刘俊张琼石云波刘晓鹏朱政强
- 关键词：陀螺仪
- 硅基PZT热释电薄膜三方-四方相变的拉曼散射研究被引量：1
- 2009年
- 采用溶胶-凝胶法在硅衬底上成功制备出厚度约200nm的PZT薄膜,并以差热实验为基础,分别采用600℃、650℃和700℃三种退火温度,并对不同温度下的薄膜进行拉曼测试,分析三方-四方相变趋势,研究结果表明,中频区域的A1（2TO）振动模作为四方的一个标志,随着退火温度的升高强度逐渐增强,三方向四方转变;高频范围的A1（3TO）T振动模随着退火温度的升高强度也在逐渐增强,三方晶胞在减少而四方晶胞在增多,即随着退火温度的升高,三方有向四方转变的趋势。
- 李珺泓薛晨阳梁庭丑修建谭秋林张琼
- 关键词：PZT拉曼散射相变
- MEMS电容式陀螺仪的设计被引量：2
- 2017年
- 本文设计了一种静电梳齿驱动、差分电容检测的MEMS陀螺仪,结构采用双质量块对称设计,能够有效抑制轴向加速度的干扰。利用Ansys对MEMS陀螺仪进行了仿真分析,在模态仿真中分析了陀螺结构的固有频率与振型;在静态仿真中,分析了陀螺结构在X方向、Y方向及Z方向受到50G冲击载荷时的应力分布情况,保证了弹性梁等危险区域可以承受一定的冲击载荷。
- 张琼
- 关键词：MEMS陀螺仪ANSYS仿真
- 一种新型高量程微加速度传感器侵彻测试被引量：1
- 2009年
- 设计一种新型高量程压阻式微加速度传感器,并将其应用于对钢靶和混凝土靶进行100 000 g以上的侵彻测试。实验结果表明,该传感器在侵彻钢靶具有良好的抗过载能力。对实测过载时程曲线进行系统分析,结果表明该传感器与988传感器的侵彻过载数据基本吻合;侵彻混凝土靶时出现传感器梁断裂现象,需进一步从封装方面改进。
- 朱政强石云波刘晓鹏张琼
- 关键词：侵彻高过载加速度传感器
- 微机械隧道陀螺仪的设计被引量：1
- 2009年
- 提出了一种高精度低量程复合梁结构的新型隧道电流式陀螺仪，采用标准硅微加工技术进行了设计与加工，实现了隧道效应传感器的高灵敏度与哥氏力测量角速度原理的结合，从力学角度对陀螺仪的驱动梁与检测梁的力学特性进行了分析，对陀螺的基本原理进行了必要的模态和静力学仿真，仿真结果满足驱动与检测模态的要求。另外，制定了切实可行的工艺流程，阐述了加工所需要的关键工艺，重点研究了隧尖制造技术。
- 张琼石云波马宗敏罗源源刘俊
- 关键词：陀螺仪隧道效应
- MEMS高g值加速度传感器封装技术研究
- 本文以一种自制的四梁结构压阻式高g值MEMS加速度传感器芯片的封装为研究对象，从模态及静态角度分析了封装对高g值加速度计的影响，并对封装过程中芯片粘结工艺产生的残余应力进行了热应力仿真分析，最后通过拉曼测试进行验证。结果...
- 张琼石云波祁晓瑾李珺泓刘俊
- 关键词：MEMS芯片封装有限元分析残余应力
- 文献传递
- 石狮市海上泼水节文化创意品设计研究
- 2020年
- 以蚶江海上泼水节文化创意品设计研究为内容,分析文化创意品和非物质文化遗产作为文化软实力对石狮市旅游文化经济发展重要性。在已有的研究成果的基础上作进一步的整理、归纳和分析,对福建石狮市蚶江海上泼水节进行针对性的实地考察,建构一套有助于海上泼水节、石狮民俗文创产品开发设计的基础理论,以推动民俗文化及本土旅游产业的发展。
- 张琼
- 具有栅结构与静电梳齿驱动的电容式微机械陀螺的仿真、设计与测试被引量：2
- 2011年
- 电容式陀螺仪是一种振动式陀螺仪,由于加工的特殊性使其具有了传统的陀螺无法比拟的优点,从而拓宽了其应用领域.为了提高陀螺仪的检测精度,本文提出了一种静电梳齿驱动、栅结构的电容式检测的微机械陀螺仪的设计方法,并分析了其工作原理.运用ANSYS软件对陀螺结构进行了仿真和模态分析,仿真结果与理论计算结果相接近.所设计的陀螺结构采用体硅标准工艺方法进行了设计,并对其进行了流片加工和封装,最终得到了电容式微机械陀螺仪.实验测试的结果表明,陀螺驱动模态的固有频率为4.06 kHz,灵敏度为0.027 9 V/((°)s-1).
- 谭秋林石云波张文栋刘俊张琼熊继军
- 关键词：栅结构
