罗源源
- 作品数：8 被引量：5H指数：2
- 供职机构：中北大学信息与通信工程学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金武器装备预研基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 基于隧道效应的力平衡式MEMS陀螺仪设计研究
- 通过充分调研和详细分析目前国内外硅微机械陀螺的研究状况,当前绝大多数硅微机械陀螺仪采用电容式传感器检测陀螺仪输出信号,随着陀螺仪表结构尺寸极大缩小,传统电容检测技术的灵敏度和分辨率也大大降低,达到了检测的极限状态,检测输...
- 罗源源
- 关键词：量子隧道效应陀螺仪
- 文献传递
- 基于隧道效应的力平衡式MEMS陀螺仪的设计研究
- 通过充分调研和详细分析目前国内外硅微机械陀螺的研究状况，当前绝大多数硅微机械陀螺仪采用电容式传感器检测陀螺仪输出信号，随着陀螺仪表结构尺寸极大缩小，传统电容检测技术的灵敏度和分辨率也大大降低，达到了检测的极限状态，检测输...
- 罗源源
- 关键词：微机电系统量子隧道效应陀螺仪
- 文献传递
- 基于隧道效应的MEMS陀螺仪的研究被引量：2
- 2010年
- 提出了一种高精度、低量程隧道陀螺仪的新结构,分析了其结构及工作原理;对陀螺进行了必要的仿真,仿真结果与理论推导相接近,这样就实现了隧道效应传感器的高灵敏度与哥氏力测量角速度原理的结合。采用体硅工艺设计了陀螺仪版图,并对其进行流片加工。加工完成后,采用HP4156C高精度半导体参数测试仪对传感器的隧道电流效应进行了测试,并验证了其测试结果;同时,对结构进行失效分析。
- 石云波张琼罗源源刘俊
- 关键词：陀螺仪
- 正交梁式隧道效应微机械陀螺仪的设计与仿真被引量：2
- 2007年
- 针对传统的角速率陀螺仪存在的缺点与不足,根据电子隧道效应的特点,设计了一种新型基于隧道效应的微机械陀螺仪,运用计算机辅助软件ANSYS对其进行了建模和仿真.把电子隧道原理应用到微机械振动陀螺中对振动位移进行检测,结构简单,功耗低,抗干扰能力强,可靠性好,线性度高,具有很高的灵敏度,尤其在提高微机械振动陀螺的测量精度和灵敏度的方面显示其优势.
- 罗源源刘俊李锦明
- 关键词：微机械电子隧道效应
- 微机械隧道陀螺仪的设计被引量：1
- 2009年
- 提出了一种高精度低量程复合梁结构的新型隧道电流式陀螺仪，采用标准硅微加工技术进行了设计与加工，实现了隧道效应传感器的高灵敏度与哥氏力测量角速度原理的结合，从力学角度对陀螺仪的驱动梁与检测梁的力学特性进行了分析，对陀螺的基本原理进行了必要的模态和静力学仿真，仿真结果满足驱动与检测模态的要求。另外，制定了切实可行的工艺流程，阐述了加工所需要的关键工艺，重点研究了隧尖制造技术。
- 张琼石云波马宗敏罗源源刘俊
- 关键词：陀螺仪隧道效应
- 微机械角加速度传感器
- 本发明涉及了微机械角加速度传感器，主要包括一个悬浮质量块，两根连接悬浮质量块与固定端的梁和两块与检测角加速度相关的检测极板，检测极板与固定端固定，质量块与检测极板为电容的两个极；在连接质量块的梁上施加一个旋转的角加速度时...
- 李锦明张文栋刘俊熊继军秦丽马游春罗源源
- 文献传递
- 微机械角加速度传感器
- 本发明涉及了微机械角加速度传感器，主要包括一个悬浮质量块，两根连接悬浮质量块与固定端的梁和两块与检测角加速度相关的检测极板，检测极板与固定端固定，质量块与检测极板为电容的两个极；在连接质量块的梁上施加一个旋转的角加速度时...
- 李锦明张文栋刘俊熊继军秦丽马游春罗源源
- 文献传递
- 微机械角加速度传感器
- 本实用新型涉及了微机械角加速度传感器，主要包括一个悬浮质量块，两根连接悬浮质量块与固定端的梁和两块与检测角加速度相关的检测极板，检测极板与固定端固定，质量块与检测极板为电容的两个极；在连接质量块的梁上施加一个旋转的角加速...
- 李锦明张文栋刘俊熊继军秦丽马游春罗源源
- 文献传递
