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刘卫兵

作品数：53 被引量：6H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划沈阳市科技计划项目更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术自动化与计算机技术农业科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 49篇专利
  • 3篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 14篇电子电信
  • 4篇自动化与计算...
  • 4篇一般工业技术
  • 1篇电气工程
  • 1篇农业科学

主题

  • 16篇光源
  • 16篇红外
  • 16篇红外光
  • 16篇红外光源
  • 15篇电极
  • 12篇MEMS
  • 12篇存储器
  • 11篇图形化
  • 11篇金属
  • 11篇刻蚀
  • 11篇半导体
  • 10篇金属电极
  • 7篇牺牲层
  • 7篇隔离层
  • 7篇半导体器件
  • 6篇介质层
  • 6篇沟道
  • 5篇堆叠
  • 5篇热传导
  • 5篇互连

机构

  • 52篇中国科学院微...
  • 4篇中北大学
  • 3篇昆山光微电子...
  • 1篇沈阳理工大学

作者

  • 53篇刘卫兵
  • 35篇高建峰
  • 34篇李俊峰
  • 26篇李俊杰
  • 25篇杨涛
  • 15篇明安杰
  • 15篇罗军
  • 13篇王玮冰
  • 12篇陈大鹏
  • 11篇王文武
  • 10篇孙西龙
  • 8篇项金娟
  • 8篇毛海央
  • 6篇熊继军
  • 6篇谭秋林
  • 4篇殷华湘
  • 3篇贺晓彬
  • 3篇任耀辉
  • 2篇王佳
  • 2篇白国斌

传媒

  • 1篇仪表技术与传...
  • 1篇激光与红外
  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 5篇2024
  • 12篇2023
  • 3篇2022
  • 8篇2021
  • 6篇2020
  • 5篇2019
  • 3篇2018
  • 10篇2017
  • 1篇2016
共 53 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种氧化钒薄膜的制备方法
本发明提出了一种氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，包括：提供衬底；在所述衬底上方沉积介质层；对所述衬底进行预热；采用磁控溅射法，在所述介质层上形成氧化钒薄膜种子层，形成所述氧化钒薄膜种子层的工艺条件如下：射频溅射功率为5...
高建峰李俊峰刘卫兵赵超王文武
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基于湿法预释放结构的MEMS红外光源及其制备方法
本发明公开一种基于湿法预释放结构的MEMS红外光源及其制备方法。所述基于湿法预释放结构的MEMS红外光源包括嵌入式空腔的承载衬底及所述承载衬底上的红外光源结构；所述红外光源结构设有支撑层、隔离层、图形化金属电极以及辐射层...
明安杰刘卫兵孙西龙王玮冰陈大鹏
文献传递
一种半导体器件及其制造方法
本申请实施例提供了一种半导体器件及其制造方法，可以在衬底上沉积形成牺牲层，利用Bosch工艺对牺牲层进行刻蚀形成电容孔，电容孔的侧壁在纵向上呈凹凸交替变化，在电容孔内依次形成底电极层、介质层和顶电极层，由于Bosch工艺...
高建峰李俊杰周娜刘卫兵杨涛李俊峰
文献传递
位线两侧气隙及半导体结构的制造方法
本申请涉及半导体制造领域，具体公开了一种位线两侧气隙及半导体装置的制造方法，包括以下步骤：在半导体衬底上形成多条位线；在每条位线的两侧形成上部开口的气隙；采用物理气相沉积工艺形成盖帽层，以封闭所述上部开口。本申请采用台阶...
高建峰刘卫兵杨涛李俊峰
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一种环栅堆叠纳米器件及其制备方法
本发明涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种环栅堆叠纳米器件及其制备方法，本发明通过第二侧墙介质覆盖整个表面并充满内嵌的凹槽，形成第二侧墙，进而在第二侧墙的表面沉积内侧墙牺牲层，并刻蚀掉部分内侧墙牺牲层，使其与第二侧墙介质齐...
高建峰刘卫兵 杨帅 周娜李俊杰杨涛李俊峰罗军
堆叠纳米片环栅晶体管及其制备方法
本发明提供一种堆叠纳米片环栅晶体管及其制备方法，具体包括：提供衬底，衬底的一侧具有支撑部，在支撑部上具有交替层叠的牺牲层和沟道层，支撑部、牺牲层和沟道层构成鳍片；形成跨鳍片的假栅，并在假栅两侧形成侧墙；对鳍片进行刻蚀，形...
高建峰刘卫兵周娜李俊杰杨涛李俊峰罗军
悬浮结构的MEMS红外光源
本实用新型公开一种悬浮结构的MEMS红外光源。所述悬浮结构的MEMS红外光源包括薄膜悬浮结构及所述悬浮结构上的红外光源结构；所述薄膜悬浮结构为图形化的支撑层，所述支撑层为沉积在承载衬底上的凹弧状的四梁固支结构；所述红外光...
明安杰刘卫兵任耀辉毛海央谭秋林王玮冰熊继军陈大鹏
文献传递
集成高辐射率纳米结构的MEMS红外光源研究
微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)红外光源基于热辐射原理，具有体积小、功耗低、调制频率高、波长范围宽、寿命长等特点。随着纳米技术及纳米结构与传感器的集成逐渐成为关注的热...
刘卫兵
关键词：微机电系统红外光源辐射率红外光谱调制特性
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一种钽掩模的制备方法
本发明公开了一种钽掩模的制备方法，属于微电子制造技术领域，解决了现有技术中制备65nm或更小尺寸的MTJ单元需要配合较薄的钽硬掩模层，但钽膜层需要有足够的厚度来完成MTJ的完全刻蚀的矛盾，以及实际MTJ尺寸大于光刻尺寸的...
高建峰李俊杰刘卫兵李俊峰王文武
文献传递
一种STT-MRAM存储器单元及其制备方法
本发明公开了一种STT‑MRAM存储器单元及其制备方法，属于微电子制造技术领域，解决现有技术中磁性隧道结TMR(隧穿磁阻)低、MTJ刻蚀过程对STT‑MRAM的TMR性能影响大的问题。本发明的STT‑MRAM存储器单元，...
高建峰刘卫兵李俊杰李俊峰王文武
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