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程冰

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：中国计量大学更多>>
相关领域：电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电气工程

主题

  • 4篇电阻
  • 3篇热电阻
  • 3篇加热电阻
  • 2篇电容检测
  • 2篇应力
  • 2篇射频磁控
  • 2篇射频磁控溅射
  • 2篇谐振
  • 2篇谐振频率
  • 2篇谐振式
  • 2篇溅射
  • 2篇封装
  • 2篇磁控
  • 2篇磁控溅射
  • 1篇氮化
  • 1篇氮化硅
  • 1篇低电阻
  • 1篇压阻
  • 1篇压阻检测
  • 1篇涌流

机构

  • 6篇中国计量大学

作者

  • 6篇程冰
  • 5篇韩建强
  • 4篇尹伊君
  • 3篇牛文举
  • 2篇张杰
  • 1篇李青

年份

  • 1篇2018
  • 3篇2017
  • 1篇2016
  • 1篇2015
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
一种基于静电激励/电容检测微桥谐振器的薄膜热电变换器的结构与制作方法
本发明公开了一种基于静电激励/电容检测微桥谐振器的薄膜热电变换器的结构与制作方法。薄膜热电变换器由制作在同一硅片(1)上的加热电阻(2)、双端固支梁(3)、激励电极(4)和检测电容(5)组成。加热电阻(2)通电后产生并辐...
韩建强张杰牛文举尹伊君程冰
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一种新型谐振式薄膜热电变换器的结构及制作方法
本发明公开了一种新型谐振式薄膜热电变换器的结构与制作方法。薄膜热电变换器由制作在同一衬底(1)上的加热电阻(2)、微桥谐振器A(3)、微桥谐振器B(4)组成。在加热电阻(2)通电后产生并辐射的热量引起微桥谐振器A(3)温...
韩建强厉森程冰尹伊君
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一种低电阻温度系数镍铬硅薄膜的制备方法
本发明公开了一种低电阻温度系数镍铬硅薄膜的制备方法。所使用靶材的组成及重量百分比为：Ni 45wt％，Cr 50wt％，Si 5wt％。溅射前对腔室抽真空至5×10<Sup>‑4</Sup>Pa以下，通入氩气，调节工作气...
韩建强尹伊君程冰牛文举
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一种基于静电激励/电容检测微桥谐振器的薄膜热电变换器的结构与制作方法
本发明公开了一种基于静电激励/电容检测微桥谐振器的薄膜热电变换器的结构与制作方法。薄膜热电变换器由制作在同一硅片(1)上的加热电阻(2)、双端固支梁(3)、激励电极(4)和检测电容(5)组成。加热电阻(2)通电后产生并辐...
韩建强张杰牛文举尹伊君程冰
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一种高频薄膜热电变换器的结构及制作方法
本发明公开了一种高频薄膜热电变换器的结构及制作方法。薄膜热电变换器的加热电阻(3)由中心的氮化硅或二氧化硅绝缘芯层(8)及包围绝缘芯层(8)的表面导电层(7)组成，可减小趋肤效应对薄膜热电变换器的热电转换性能的影响。在腐...
韩建强俞亦茂厉森程冰李青
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谐振式薄膜热电变换器制作工艺研究
热电变换器是计量交流电压或电流的参考基准，是交直流转换标准的核心器件。采用高精度、高分辨率测温技术、减小热电变换器的交直流转换误差、提高热电变换器的测量精度、简化器件制造工艺和制作成本等问题一直是薄膜热电变换器研究的热点...
程冰
关键词：射频磁控溅射压阻检测
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