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牛文举

作品数：8 被引量：0H指数：0
供职机构：中国计量大学更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 3篇电阻
  • 2篇电容检测
  • 2篇淀积
  • 2篇套准
  • 2篇重掺杂
  • 2篇微电子
  • 2篇微电子机械
  • 2篇微电子机械系...
  • 2篇晶向
  • 2篇加速度
  • 2篇加速度计
  • 2篇各向异性
  • 2篇光刻
  • 1篇低电阻
  • 1篇电极
  • 1篇电容
  • 1篇电容式
  • 1篇压敏电阻
  • 1篇压阻
  • 1篇压阻式

机构

  • 8篇中国计量大学

作者

  • 8篇牛文举
  • 7篇韩建强
  • 4篇尹伊君
  • 3篇程冰
  • 2篇张杰

年份

  • 1篇2020
  • 3篇2018
  • 4篇2017
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
一种悬空微结构的正面释放技术
本发明公开了一种悬空微结构的正面释放技术。以重掺杂硅片(1)作为衬底淀积组成微结构(2)的薄膜材料，然后光刻并刻蚀出腐蚀窗口(3)，最后在各向异性腐蚀液中正面腐蚀，在沿(100)面(4)纵向腐蚀的同时也沿(111)面(5...
韩建强韩东牛文举
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一种低横向灵敏度隧道电流式加速度计的结构及制作方法
本发明公开了一种低横向灵敏度隧道电流式加速度计的结构及制作方法，属于微电子机械系统领域。所述的低横向灵敏度隧道电流式加速度计由主芯片(1)、上盖板(2)和下底板(3)组成。其中主芯片(1)由质量块(4)、支撑梁(5)、引...
韩建强尹伊君牛文举
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一种基于静电激励/电容检测微桥谐振器的薄膜热电变换器的结构与制作方法
本发明公开了一种基于静电激励/电容检测微桥谐振器的薄膜热电变换器的结构与制作方法。薄膜热电变换器由制作在同一硅片(1)上的加热电阻(2)、双端固支梁(3)、激励电极(4)和检测电容(5)组成。加热电阻(2)通电后产生并辐...
韩建强张杰牛文举尹伊君程冰
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一种低电阻温度系数镍铬硅薄膜的制备方法
本发明公开了一种低电阻温度系数镍铬硅薄膜的制备方法。所使用靶材的组成及重量百分比为：Ni 45wt％，Cr 50wt％，Si 5wt％。溅射前对腔室抽真空至5×10<Sup>‑4</Sup>Pa以下，通入氩气，调节工作气...
韩建强尹伊君程冰牛文举
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一种悬空微结构的正面释放技术
本发明公开了一种悬空微结构的正面释放技术。以重掺杂硅片(1)作为衬底淀积组成微结构(2)的薄膜材料，然后光刻并刻蚀出腐蚀窗口(3)，最后在各向异性腐蚀液中正面腐蚀，在沿(100)面(4)纵向腐蚀的同时也沿(111)面(5...
韩建强韩东牛文举
谐振-力平衡电容式三轴加速度计结构仿真与封装工艺研究
三轴微型加速度计具有体积小、低功耗和易批量生产等优点，广泛应用于汽车导航、航空航天等领域。随着微细加工技术的不断进步以及民用和国防等领域日益增长的需求，三轴微型加速度计的研究逐渐成为加速度计重要的发展方向。　　针对目前三...
牛文举
关键词：微机电系统加速度计有限元分析共晶键合
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一种低交叉轴灵敏度压阻式加速度计结构及制作方法
本发明公开了一种低交叉轴灵敏度压阻式加速度计的结构及制作方法，属于微电子机械系统领域。低交叉轴灵敏度压阻式加速度计由一个质量块(1)、八个支撑梁(2)、四个传感梁(3)和框架(4)组成。质量块(1)的重心位于支撑梁(2)...
韩建强牛文举赵正前
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一种基于静电激励/电容检测微桥谐振器的薄膜热电变换器的结构与制作方法
本发明公开了一种基于静电激励/电容检测微桥谐振器的薄膜热电变换器的结构与制作方法。薄膜热电变换器由制作在同一硅片(1)上的加热电阻(2)、双端固支梁(3)、激励电极(4)和检测电容(5)组成。加热电阻(2)通电后产生并辐...
韩建强张杰牛文举尹伊君程冰
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