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尹春海
尹春海
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
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合作作者
陶东言
中国科学院半导体研究所
刘超
中国科学院半导体研究所
曾一平
中国科学院半导体研究所
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光谱学与光谱...
年份
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2013
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离子注入法制备GaN∶Er薄膜的Raman光谱分析
被引量:3
2013年
对离子注入法制备的u-,n-和p-GaN∶Er三种类型的薄膜样品进行了Raman光谱分析。Er+注入GaN样品后新出现了293,362和670cm-1等波数的Raman峰,其中293cm-1处的Raman峰被指认为无序激活的Raman散射(DARS),362cm-1和670cm-1处的Raman峰可能与离子注入后形成的GaN晶格缺陷有关。上述GaN∶Er样品在800℃退火前后的E2(high)特征峰均向高频方向移动,表明薄膜晶格中均存在着压应力。采用洛伦兹拟合分析了Raman光谱中组成A1(LO)模式峰的未耦合LO模与等离子体激元耦合模LPP+在不同样品中的出现情况,定性指出了GaN∶Er系列样品中载流子浓度的变化规律。
陶东言
刘超
尹春海
曾一平
关键词:
氮化镓
离子注入
稀磁半导体
RAMAN光谱
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