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李记赛

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：华中科技大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国防科技重点实验室基金更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇电子学
  • 1篇光电
  • 1篇光电子
  • 1篇光电子学
  • 1篇仿真
  • 1篇波前
  • 1篇高性能

机构

  • 1篇华中科技大学
  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇谢长生
  • 1篇季安
  • 1篇张新宇
  • 1篇李记赛

传媒

  • 1篇中国激光

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
折射微光学结构出射复杂光学波前
2008年
通过单掩模紫外(UV)光刻、感应耦合等离子体(ICP)刻蚀及KOH∶H2O化学腐蚀,在硅片上制作5×5元面阵硅折射微光学结构.通过电化学方法将制成的硅精细图形结构转换成镍版,进而通过压制法将精细的镍版图形进一步转印到有机玻璃材料上,从而制成面阵光学波前出射结构.光刻版由结构尺寸在微米量级的大量微孔组成,其特征尺度和排布方式由算法生成.微形貌测试显示了制作的折射微光学波前出射结构具有预期的表面形貌特征.通过常规光学测试,比较和分析了出射复杂波前的情况.
张新宇李记赛季安谢长生
关键词：光电子学波前
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共1页<1>
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