郝惠娟
- 作品数：3 被引量：3H指数：1
- 供职机构：山东大学控制科学与工程学院电子束研究所更多>>
- 发文基金：山东省自然科学基金山东省科技攻关计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 电子束光刻制造软刻蚀用母板的研究被引量：2
- 2007年
- 使用通用电子束曝光机,采用一种新的电子束微三维加工的重复增量扫描方式进行曝光实验,显影后得到轮廓清晰的微三维结构,以此为制作弹性印章的母模板,经硅烷化后可用来制作弹性印章,得到弹性印章后便可再利用软刻蚀相关技术进行微图形的复制。曝光实验的结论表明采用电子束重复增量扫描方式可用来制作微三维弹性印章的母版。
- 卢文娟张玉林孔祥东郝惠娟
- 关键词：电子束光刻母板
- 电子束重复增量扫描曝光方式的反应机理研究
- 2006年
- 从高分子辐射化学的角度分析了电子束曝光的实际反应机理,推导得出曝光辐射剂量与辐射降解程度间的关系,提出了重复增量扫描方式的电子束微三维加工方法。通过在SDS-3型电子束曝光机上对正性抗蚀剂PMMA进行曝光实验,显影后得到轮廓清晰的三维结构,验证了该方法的可行性。
- 卢文娟张玉林孔祥东郝惠娟
- 关键词：电子束光刻辐射降解
- 基于软刻蚀技术的微三维结构加工方法研究被引量：1
- 2007年
- 软刻蚀是通过表面带有图案的弹性模板来实现图案转移的图形复制技术,弹性印章是软刻蚀技术的核心。简单介绍了软刻蚀技术,使用SDS-3型电子束曝光机,采用重复增量扫描方式进行曝光,生成弹性印章的母版,将其硅烷化后用以制作弹性印章,再利用软刻蚀技术可进行微图形的复制,得到微三维结构。显影后得到轮廓清晰的三维结构,证明将电子束重复增量扫描曝光方式与软刻蚀技术相结合可为制作微三维结构提供一种简单、有效的低成本途径。
- 卢文娟张玉林孔祥东郝惠娟
- 关键词：电子束光刻
