孔祥东
- 作品数：87 被引量：96H指数：7
- 供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金山东省自然科学基金山东省科技攻关计划更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程一般工业技术更多>>
- 电子束光刻制造软刻蚀用母板的研究被引量：2
- 2007年
- 使用通用电子束曝光机,采用一种新的电子束微三维加工的重复增量扫描方式进行曝光实验,显影后得到轮廓清晰的微三维结构,以此为制作弹性印章的母模板,经硅烷化后可用来制作弹性印章,得到弹性印章后便可再利用软刻蚀相关技术进行微图形的复制。曝光实验的结论表明采用电子束重复增量扫描方式可用来制作微三维弹性印章的母版。
- 卢文娟张玉林孔祥东郝惠娟
- 关键词：电子束光刻母板
- LIGA工艺的发展及应用被引量：17
- 2004年
- 介绍了LIGA(lithographie,galvanoformungandabformung)技术以及在此基础上开发出来的准LIGA(like－LIGA)技术、SLIGA(sacrificialLIGA)、M2LIGA(movingmaskLIGA)技术和抗蚀剂回流LIGA(PRLIGA———photoresistreflowLIGA)技术等。利用这一系列LIGA技术,可以生成具有高深宽比的复杂微结构,如微尖阵列、球形曲面、活动部件等,能较好地满足MEMS发展的需要。最后指出了目前这些方法存在的缺陷。
- 孔祥东张玉林宋会英
- 关键词：光刻胶X射线微机电系统
- 电子束退火制备二硼化镁超导线材或带材的方法
- 本发明公开了一种电子束退火制备二硼化镁超导线材或带材的方法，该方法采用电子束在真空中对原位粉末套管法制备的未成相MgB2线材或带材前驱体进行退火，在几秒到几分钟的退火时间内使线材或带材前驱体中的镁硼混合粉末发生化学反应最...
- 孔祥东韩立李晓娜许壮桂漓江李艳丽张雪娜
- 一种X射线靶
- 本发明公开了一种X射线靶。所述X射线靶包括：X射线毛细管和靶材件；靶材件设置在X射线毛细管的入口端；电子束照射在靶材件上产生X射线，X射线透过靶材件并在X射线毛细管内聚焦，聚焦后的X射线通过X射线毛细管的出口端出射，形成...
- 李艳丽牛耕孔祥东张新月韩立
- 文献传递
- 原子层沉积与聚焦离子束切片法制备X射线波带片
- 2023年
- 针对X射线波带片对大高宽比的应用需求,采用原子层沉积法在光滑的金属丝表面生长膜厚可高精度控制的多层膜环带结构,再利用聚焦离子束切片技术获得大高宽比的多层膜X射线波带片。采用复振幅叠加法设计了以Al2O3/HfO2分别为明环和暗环材料的X射线波带片,实验上利用原子层沉积在直径为72μm的金丝表面交替沉积了10.11μm的Al2O3/HfO2多层膜,环带数为356,总直径为92.22μm,最外环宽度为25 nm。通过聚焦离子束切割得到高为1.08μm、高宽比达43∶1的X射线多层膜菲涅耳波带片。该波带片应用于上海光源(BL08U1A)软X射线成像线站时,在1.2 keV X射线下实现聚焦成像功能,展现出利用该技术制备多层膜X射线波带片的潜力。
- 谭明生明帅强吴雨菲卢维尔李艳丽李艳丽孔祥东夏洋韩立
- 关键词：原子层沉积聚焦离子束大高宽比多层膜
- 电子束曝光中电子散射模型的优化被引量：8
- 2005年
- 提出了在0.1 keV^30 keV能量范围内进行电子束曝光Monte Carlo模拟的分段散射模型优化方案。在该方案中,对所有的弹性散射均采用精确的Mott弹性散射截面。而对非弹性散射,当能量处于E0≤10 keV,10 keV20 keV时,分别采用了Joy修正的Bethe公式、通常的Bethe公式和相对论效应修正的Bethe公式来计算总能量损失率;当E0≤20 keV和E0>20 keV时,分别采用了Gryzinsky截面和Moller截面计算离散的能量损失率。发现模拟结果与实验结果很好地吻合,这比采用单一的散射模型和不考虑二次电子的Bethe公式得到的模拟结果更加符合实际的电子散射过程,其精度更高。
- 宋会英张玉林魏强孔祥东
- 关键词：电子束曝光散射模型MONTECARLO方法二次电子
- IH工艺的发展及应用被引量：6
- 2003年
- 介绍了IH系列立体光刻技术。使用该系列技术可以加工出具有高深宽比和复杂曲面的各种微结构,可以容易地加工出微可动部件、电子聚合物组合结构和不同聚合物的全聚合物结构,能较好地满足MEMS发展的需要。最后指出这种方法目前存在的缺陷。
- 孔祥东张玉林尹明
- 关键词：立体光刻抗蚀剂微机电系统
- 二次掩膜法制备二硼化镁超导约瑟夫森结的方法
- 一种二次掩膜法制备二硼化镁超导约瑟夫森结的方法，该方法采用电子束在真空中对夹层式（三明治型）二硼化镁约瑟夫森结先驱膜进行退火。所述的夹层式二硼化镁约瑟夫森结先驱膜为采用二次掩膜法制备的[Mg/B]‑X‑[Mg/B]结构先...
- 孔祥东李晓娜韩立初明璋许壮
- 文献传递
- 一种多层膜X射线微波带片的移动方法
- 一种多层膜X射线微波带片的移动方法，将原子力显微镜探针安装在针架上，将针架安装在原子力显微镜上。取适量AB胶涂抹在一平整基片表面，将平整基片置于原子力显微镜样品台上。移动样品台，调整探针与AB胶的距离，使探针与AB胶不断...
- 李艳丽孔祥东韩立
- 文献传递
- 一种制备石墨烯的方法
- 一种制备石墨烯的方法，具体步骤为：(1)将一定碳浓度的镍源沉积到衬底表面；(2)对得到的掺碳镍膜采用电子束热处理，退火温度为900～1400℃，退火时间为1～60s，之后取出样品即可在镍膜表面得到石墨烯。本发明可制备出单...
- 许壮韩立高召顺孔祥东左婷婷刘俊标李艳丽门勇
- 文献传递
