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李艳丽: 作品数：41 被引量：12H指数：2; 供职机构：中国科学院电工研究所更多>>; 发文基金：国家自然科学基金北京市自然科学基金更多>>; 相关领域：理学机械工程一般工业技术金属学及工艺更多>>

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基于原子层沉积技术的高精度多层膜X射线菲涅尔波带片的制备研究被引量：3: 2021年; 基于原子层沉积与聚焦离子束切割抛光相结合的工艺,提出了一种多层膜型波带片制备技术。利用耦合波理论计算出最外环宽为10 nm的Al2O3/HfO2、Al2O3/SiO2、Al2O3/Ir和Al2O3/Ta2O5四种材料组合的多层膜波带片在X射线能量为8 keV和15 keV时的菲涅尔波带片的理论衍射效率,讨论了最外环宽和波带片高度对衍射效率的影响,选择了Al2O3/HfO2为后续叠层制备。研究了原子层沉积制备Al2O3和HfO2薄膜的生长特性,验证了原子层沉积技术制备单层膜厚为10 nm叠层结构的可行性,实验结果表明,利用原子层沉积技术制备Al2O3和HfO2薄膜粗糙度可控在1 nm,均匀性优于±1.5%,单叠层厚度误差仅为0.416 nm.同时,利用聚焦离子束切割抛光技术得到了最外环宽为10 nm,高宽比200的高分辨率X射线菲涅尔波带片。; 吴鹿杰文庆涛高雅增卢维尔夏洋夏洋孔祥东李艳丽; 关键词：原子层沉积聚焦离子束高分辨率耦合波理论

一种调控X射线毛细管传输特性的方法: 一种调控X射线毛细管传输特性的方法，采用原子层沉积技术在毛细管内表面沉积一层厚度均匀的薄膜，通过对薄膜材料类型和厚度的控制，实现对X射线毛细管传输特性的调控。本发明可用于X射线显微成像和X射线荧光光谱分析等系统中，高效聚...; 孔祥东李艳丽姚广宇韩立; 文献传递

一种X射线波带片的制备方法: 本发明公开一种X射线波带片的制备方法，包括：将镀有X射线波带片多层膜结构的细丝固定于铜皮上，所述细丝的侧表面与所述铜皮接触；将所述铜皮固定于衬底上；将所述细丝和铜皮的一体结构切割成薄片；切割所述薄片的与衬底接触的部分，使...; 孔祥东姚广宇李艳丽韩立; 文献传递

一种用于X射线波带片的微细钨丝制备方法: 一种用于X射线波带片的微细钨丝制备方法，包括以下步骤：(1)对原料钨丝进行超声清洗，去除钨丝表面的油渍及杂质；(2)在真空环境中，采用电流加热法加热钨丝；(3)对加热后的钨丝进行电解抛光，通过控制抛光溶液的浓度，电解电压...; 门勇孔祥东李艳丽韩立; 文献传递

电子束退火法制备Li-N共掺杂多晶ZnO薄膜: 2018年; 为研究电子束退火对Li-N共掺杂Zn O薄膜性能的影响,首先利用溶胶-凝胶旋涂法在p型Si(111)衬底上制备Li-N共掺杂的Zn O前驱膜,然后用电子束对前驱膜进行退火。退火时,电子束加速电压10 k V,退火时间5 min,聚焦束流123 m A,束流为0.7~1.9 m A,最后得到Li-N共掺杂的Zn O薄膜。XRD谱分析表明,当束流高于1.5 m A之后,薄膜为六方Zn O和立方Zn O的混合多晶薄膜,且有金属Zn生成,导致薄膜有较强的绿光发射。SEM图片分析显示,薄膜的晶粒尺寸随束流增加而增大,当束流高于1.5 m A后,晶粒尺寸变化不大,约为60 nm。光致发光(PL)谱和激光拉曼谱的分析结果证实Li、N元素已掺入Zn O晶格中,PL谱中观察到Li元素掺杂引起的紫光发射,拉曼散射光谱中观察到N替代O位的缺陷振动模式。; 李艳丽李辉孔祥东李辉孔祥东; 关键词：掺杂多晶 ZNO薄膜

一种X射线光学元件的制备方法及系统: 本发明公开了一种X射线光学元件的制备方法及系统。该方法包括：确定多层膜的周期厚度；所述多层膜包括第一薄膜和第二薄膜；确定所述第一薄膜和所述第二薄膜的材料；根据反射率确定薄膜厚度比以及周期数；根据所述周期厚度以及所述薄膜厚...; 李艳丽孔祥东张新月韩立; 文献传递

一种调控X射线毛细管传输特性的方法: 一种调控X射线毛细管传输特性的方法，采用原子层沉积技术在毛细管内表面沉积一层厚度均匀的薄膜，通过对薄膜材料类型和厚度的控制，实现对X射线毛细管传输特性的调控。本发明可用于X射线显微成像和X射线荧光光谱分析等系统中，高效聚...; 孔祥东李艳丽姚广宇韩立; 文献传递

电子束退火制备二硼化镁超导线材或带材的方法: 本发明公开了一种电子束退火制备二硼化镁超导线材或带材的方法，该方法采用电子束在真空中对原位粉末套管法制备的未成相MgB2线材或带材前驱体进行退火，在几秒到几分钟的退火时间内使线材或带材前驱体中的镁硼混合粉末发生化学反应最...; 孔祥东韩立李晓娜许壮桂漓江李艳丽张雪娜; 文献传递

激光显微共聚焦拉曼光谱仪变温系统的设计与研制: 2022年; 针对常规激光显微共聚焦拉曼光谱仪无法满足物质变温,特别是低温测试需求的问题,设计了适用于拉曼光谱仪的高精度变温系统。该系统采用GM制冷机作为制冷源,利用高纯无氧铜作为导冷介质,通过将GM制冷机的冷量传导至样品台,并利用控温仪进行温度控制,可以实现待测样品10 K-402 K范围的温度变化控制,控温精度高于0.008 K。相比于常规的低温测试设备,该系统无需采用液氮、液氦进行制冷,大幅降低了设备的使用及维护费用。同时,使用激光显微共聚焦拉曼光谱仪搭载该系统,成功获得了Si、V_(2)O_(5)等材料的变温拉曼光谱,验证了激光显微共聚焦拉曼光谱仪变温系统设计的可靠性。; 伍岳高召顺薛江丽李艳丽李艳丽孔祥东茹亚东许壮许壮韩立; 关键词：拉曼光谱仪

一种多层膜X射线波带片的制备方法: 一种多层膜X射线波带片的制备方法，首先根据设计的波带片高度，在作为波带片主体支撑的中心细丝(1)的侧表面进行选择性遮挡，随后采用薄膜沉积方法在中心细丝(1)表面交替沉积两种薄膜材料，该多层膜作为波带片的环带结构，每层薄膜...; 李艳丽孔祥东韩立; 文献传递