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刘占勇
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十六研究所
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相关领域:
化学工程
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合作作者
王奕
中国电子科技集团公司第四十六研...
王鑫
中国电子科技集团公司第四十六研...
褚连青
中国电子科技集团公司第四十六研...
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褚连青
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刘占勇
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王奕
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现代仪器
年份
1篇
2011
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ICP-MS法测定高纯碳化硅粉表面的痕量杂质
被引量:2
2011年
本文采用ICP-MS法对高纯碳化硅粉表面的Na、AI、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Cd 12种痕量杂质进行测定,用氢氟酸溶液浸提试样表面杂质,用钇做内标补偿基体效应和仪器的漂移,用碰撞反应技术消除多原子离子干扰,通过实验确定最佳优化测定条件。方法检出限为0.005~0.036μg/L;加标回收率为80.0%~120.3%之间;RSD为1.78%~8.95%。方法操作简便、快速、准确。
褚连青
刘占勇
王奕
王鑫
关键词:
ICP-MS
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