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李湘

作品数：1 被引量：8H指数：1
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇氧化剂
  • 1篇双氧水
  • 1篇抛光液
  • 1篇稳定性
  • 1篇碱性抛光液

机构

  • 1篇河北工业大学

作者

  • 1篇王辰伟
  • 1篇刘玉岭
  • 1篇李湘
  • 1篇尹康达

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
双氧水在碱性抛光液中的稳定性研究被引量：8
2012年
氧化剂是铜互连化学机械抛光液的重要组成部分,是决定抛光速率和平坦化效率的重要影响因素。双氧水(H2O2)是抛光液中最常用的氧化剂,其稳定性是评估抛光液性能的重要指标之一,直接关系到抛光液的寿命及其是否可以产业化。针对抛光速率、抛光液的pH值以及抛光后表面质量进行考察,分析了这三方面随抛光液放置时间的变化规律,从而得到H2O2在碱性抛光液中的稳定性规律。实验结果表明,抛光液主要成分的体积分数分别为硅溶胶2.5%、螯合剂1%、氧化剂1%时,抛光液最稳定,寿命可以达到24 h,满足工业化生产要求。
李湘刘玉岭王辰伟尹康达
关键词：双氧水碱性抛光液稳定性氧化剂
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