刘建敏
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
- 供职机构：上海大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金上海市教育委员会重点学科基金上海市科委纳米专项基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 等离子平板显示中冷阴极纳米金刚石膜的制备(英文)被引量：1
- 2008年
- 讨论大面积4cm×4cm纳米金刚石膜制备工艺.采用电子辅助-热丝化学气相沉积法(EA-HFCVD)在硅片上沉积纳米金刚石膜.生长过程中,预先加6安培偏流生长1小时,然后在0.8千帕条件下,无偏流生长3小时.原子力镜表征晶粒尺寸为30纳米.样品上任意三点采用原子力镜表征,表现出良好均匀性.采用偏振光椭圆率测量仪和分光计分别表征样品的折射率和透射率.红外波段透过率超过50%.金刚石膜表面分别进行氢化和氧化处理.通过表征,氢化处理后膜比氧化处理后膜对应的γ值大,约为0.45 .
- 祝雪丰王林军胡广刘建敏黄建徐金勇夏义本
- 关键词：透过率
- 应用于FED的金刚石薄膜的光学和结构分析(英文)
- 2008年
- 本文比较研究了不同晶粒大小和结构的金刚石薄膜的场发射性质,这些金刚石薄膜通过热丝辅助化学气相沉积法( HFCVD)获得。研究结果表明纳米尺寸效应对金刚石薄膜的场发射性能有非常重要的影响,通过比较不同晶粒尺寸的金刚石薄膜发现纳米金刚石薄膜相对于大晶粒金刚石薄膜(比如微米级的金刚石薄膜)有更好的场发射性能。从拉曼光谱得到,含有一定量非金刚石相的金刚石薄膜有更好的场发射能力和更低的开启电场(E0)。另外,具有(111)定向的金刚石薄膜比起其他结构的金刚石薄膜,它的电子发射能力更强。
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- 关键词：场发射开启电场发射电流拉曼光谱
