您的位置： 专家智库 > >

卢慧玲

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：北京大学深圳研究生院更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇中文专利

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 4篇晶体管
  • 4篇薄膜晶体
  • 4篇薄膜晶体管
  • 2篇电性
  • 2篇淀积
  • 2篇接触电极
  • 2篇金属
  • 2篇刻蚀
  • 2篇暗电流
  • 1篇电镀
  • 1篇电镀法
  • 1篇氧化物
  • 1篇氧化物半导体
  • 1篇源区
  • 1篇栅电极
  • 1篇溶液法
  • 1篇图形化
  • 1篇金属氧化物
  • 1篇金属氧化物半...
  • 1篇沟道

机构

  • 4篇北京大学

作者

  • 4篇张盛东
  • 4篇卢慧玲
  • 2篇肖祥
  • 2篇周晓梁
  • 1篇邵阳
  • 1篇张乐陶

年份

  • 1篇2018
  • 2篇2017
  • 1篇2016
共 4 条 记 录，以下是 1-4
全选 清除 导出
排序方式：
包含遮光层的薄膜晶体管及其制备方法
本申请公开了一种薄膜晶体管，包括衬底；形成在所述衬底上的经图形化的遮光层，其中所述遮光层采用绝缘非金属遮光材料；形成在所述遮光层以上的有源层，所述有源层包括所述晶体管的沟道、源区和漏区；形成在所述有源层上的栅介质层和形成...
张盛东梁婷周晓梁卢慧玲张晓东王刚
文献传递
一种金属氧化物薄膜晶体管的制备方法
本发明公开了金属氧化物薄膜晶体管的制备方法。该方法包括如下步骤：在衬底上依次制备导电薄膜和金属层A，然后经图形化得到栅极；采用阳极氧化的方法在栅极上生长绝缘介质层，覆盖栅极作为栅介质层；采用溶液法在栅介质层上生长金属氧化...
张盛东邵阳周晓梁张乐陶卢慧玲
文献传递
一种X射线探测仪及其薄膜晶体管制备方法
一种X射线探测仪及其薄膜晶体管制备方法，制备方法包括：在衬底上淀积一层电极层；光刻和刻蚀电极层，形成相隔预定距离的两个栅电极；在栅电极上淀积覆盖两个栅电极的栅介质层；在栅介质层上淀积金属氧化物半导体层；在栅介质层上生成分...
张盛东卢慧玲肖祥
文献传递
一种X射线探测仪及其薄膜晶体管制备方法
一种X射线探测仪及其薄膜晶体管制备方法，制备方法包括：在衬底上淀积一层电极层；光刻和刻蚀电极层，形成相隔预定距离的两个栅电极；在栅电极上淀积覆盖两个栅电极的栅介质层；在栅介质层上淀积金属氧化物半导体层；在栅介质层上生成分...
张盛东卢慧玲肖祥
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0