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张乐陶
作品数:
3
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供职机构:
北京大学深圳研究生院
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相关领域:
电子电信
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合作作者
张盛东
北京大学深圳研究生院
邵阳
北京大学深圳研究生院
周晓梁
北京大学深圳研究生院
肖祥
北京大学深圳研究生院
王漪
北京大学深圳研究生院
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邵阳
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周晓梁
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冷传利
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2017
2篇
2016
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一种金属氧化物薄膜晶体管的制备方法
本发明公开了金属氧化物薄膜晶体管的制备方法。该方法包括如下步骤:在衬底上依次制备导电薄膜和金属层A,然后经图形化得到栅极;采用阳极氧化的方法在栅极上生长绝缘介质层,覆盖栅极作为栅介质层;采用溶液法在栅介质层上生长金属氧化...
张盛东
邵阳
周晓梁
张乐陶
卢慧玲
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新型薄膜晶体管技术与应用
张盛东
廖聪维
胡治晋
韩德栋
王漪
冷传利
肖祥
邵阳
李建桦
张乐陶
王玲
贺鑫
姚建可
刘翔
何红宇
主要技术内容:进入21世纪,基于薄膜晶体管(TFT)技术的平板显示(FPD)被列为中国国民经济发展的重点产业,成为拉动中国经济发展的新的增长点。但就平板显示技术本身,中国是后发展国家,自主知识产权核心技术匮乏,这严重制约...
关键词:
关键词:
薄膜晶体管
液晶面板
一种底栅共平面型金属氧化物薄膜晶体管的制备方法
本发明公开了一种底栅共平面型金属氧化物薄膜晶体管的制备方法,包括以下步骤:在衬底上依次形成栅电极和栅介质,其中栅电极部分覆盖于衬底上,栅介质覆盖于衬底和栅电极上;在栅介质上采用至少一层含有铝和/或钛的材料淀积源区、漏区导...
张盛东
周晓梁
肖祥
邵阳
张乐陶
王漪
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