李航
- 作品数:2 被引量:0H指数:0
- 供职机构:云南师范大学更多>>
- 相关领域:文化科学一般工业技术电气工程更多>>
- PECVD制备p型氢化硅氧薄膜及其光电性能研究
- 2016年
- 采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)方法,在高气压、高氢稀释比和高功率密度条件下,以硅烷和二氧化碳为反应气体,硼烷为掺杂气体,在玻璃衬底上沉积了一系列的p型氢化非晶硅氧(p-SiOx:H)薄膜.利用Raman谱、XRD衍射谱、UV-VIS透射谱以及绝缘电阻测试仪等手段,分析了不同二氧化碳气体流量比对氢化硅氧薄膜的微结构和光电特性的影响.研究结果表明:薄膜为典型的非晶相;随着掺入气体CO2流量增加,薄膜沉积速率RG上升、光学带隙Eg及激活能Ea增大.
- 刘小娇施光辉殷俊传李航刘洁青廖华胡志华
- 关键词:光学带隙激活能PECVD
- 高中英语教师对新教材的适应性研究
- 《普通高中英语课程标准》于2017年颁布并在全国范围内实施,与此同时,由人民教育出版社出版的2019版的高中英语人教版新教材问世。本研究以高中英语教师对新教材的适应状况为立足点,采用了定量与定性相结合的研究方法,对高中英...
- 李航
- 关键词:高中英语教师新教材适应性