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罗列

作品数:1 被引量:4H指数:1
供职机构:东莞理工学院化学与环境工程学院化学生物工程系更多>>
发文基金:广东省自然科学基金更多>>
相关领域:理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇单层膜
  • 1篇电子能
  • 1篇电子能谱
  • 1篇多层膜
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米多层膜
  • 1篇光电子能谱
  • 1篇厚度
  • 1篇XPS
  • 1篇X射线
  • 1篇X射线光电子...

机构

  • 1篇东莞理工学院

作者

  • 1篇徐勇军
  • 1篇杨晓西
  • 1篇李永梅
  • 1篇李秀平
  • 1篇罗列

传媒

  • 1篇分析测试学报

年份

  • 1篇2008
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
XPS对多层膜中单层膜厚的测定被引量:4
2008年
依据XPS的测量信号与能量损失有一定定量关系的原理,利用数理分析方法,推导数学模型进行多层膜中单层膜厚的计算,该方法是一种测量总膜厚小于10 nm的单层膜厚的非破坏性的方法,具有较高的准确性。
徐勇军李秀平罗列杨晓西李永梅
关键词:纳米多层膜单层膜厚度
共1页<1>
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