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李秀平
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
供职机构:
东莞理工学院化学与环境工程学院化学生物工程系
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发文基金:
广东省自然科学基金
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相关领域:
理学
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合作作者
罗列
东莞理工学院化学与环境工程学院...
李永梅
东莞理工学院化学与环境工程学院...
杨晓西
东莞理工学院化学与环境工程学院...
徐勇军
东莞理工学院化学与环境工程学院...
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李秀平
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2008
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XPS对多层膜中单层膜厚的测定
被引量:4
2008年
依据XPS的测量信号与能量损失有一定定量关系的原理,利用数理分析方法,推导数学模型进行多层膜中单层膜厚的计算,该方法是一种测量总膜厚小于10 nm的单层膜厚的非破坏性的方法,具有较高的准确性。
徐勇军
李秀平
罗列
杨晓西
李永梅
关键词:
纳米多层膜
单层膜
厚度
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