任田田
- 作品数:3 被引量:9H指数:2
- 供职机构:长春理工大学机电工程学院更多>>
- 发文基金:吉林省科技发展计划基金更多>>
- 相关领域:一般工业技术机械工程更多>>
- 单镜支撑结构对镜面面形影响的接触有限元分析被引量:2
- 2014年
- 单镜支撑技术是影响光刻机光刻精度的关键因素之一。为了分析某光刻物镜单镜支撑结构对镜面面形的影响,采用接触有限元分析的方法对某光刻物镜系统单镜支撑结构进行分析。由于单镜还受到预紧力和夹紧结构的影响,分析时建立预紧力大小不同,夹紧结构刚度不同,支撑结构刚度不同的有限元模型,计算镜体的自重变形,并由此计算镜面面形的峰谷值(PV)、均方根值(RMS)。分析结果表明,当支撑结构特征尺寸D≥0.6 mm时,镜面面形精度对支撑结构特征尺寸D的稳定性最好,这为以后不同口径光刻机物镜系统的单镜支撑技术提供参考。
- 刘悦任田田贾振超
- 关键词:支撑结构面形
- 车身焊装夹具的三维设计研究被引量:4
- 2015年
- 为了提高白车身焊装夹具的自动化、柔性化水平,减少新产品上市的周期及制造成本。根据某轿车车身侧围内板某具体工位的工艺文件,利用CATIA软件建立其焊装夹具的三维数字模型,选择具体焊钳型号,检查其干涉部分并进行相应的具体更改,最终完成了产品的设计。
- 任田田刘悦郭锦山
- 关键词:焊装线焊装夹具
- 基于全站仪测量系统的大型结构件逆向设计被引量:3
- 2014年
- 为了解决大型结构件测量困难,设计效率低下,产品误差较大等问题,本文提出了采用全站仪测量系统对大型结构件进行逆向设计的方法。以大型结构件某挖掘机动臂为例,利用全站仪测得了外形轮廓数据,通过UG/ImageWare实现了数据处理与曲面重构,并在ImageWare中进行了误差分析,得到点云与曲面的误差值为-0.933mm到0.975mm,符合最大误差±1.0mm要求。说明运用全站仪对大型结构件进行逆向设计是可行的,与传统设计方法相比更加的快捷、高效、高质量,对国内制造业发展具有重要的意义。
- 任田田刘悦郭锦山李振宇
- 关键词:全站仪测量方法数据处理