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刘海平

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：北京机械设备研究所更多>>
发文基金：国防科技技术预先研究基金更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇陀螺
  • 1篇陀螺仪
  • 1篇激光
  • 1篇飞秒
  • 1篇飞秒激光
  • 1篇MEMS陀螺
  • 1篇MEMS陀螺...

机构

  • 1篇清华大学
  • 1篇北京机械设备...

作者

  • 1篇刘宇航
  • 1篇张嵘
  • 1篇陈志勇
  • 1篇刘海平
  • 1篇刘经勇

传媒

  • 1篇中国惯性技术...

年份

  • 1篇2017
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种MEMS陀螺仪的飞秒激光修调方法被引量：3
2017年
受微加工工艺条件限制,MEMS敏感结构的尺寸等关键参数的相对误差较大,使其在宏观上表现出非理想的运动特性,性能指标也难以满足高精度应用的要求。为消除加工误差的影响,分析了一种MEMS陀螺仪的运动特性和误差耦合机理,提出了一种通过飞秒激光对敏感结构的梁进行刻蚀修调的方法。MEMS陀螺修调前后的运动特性试验表明,修调后的误差系数比修调前降低了50%以上,而误差的稳定性则比修调前提高了约70%,证明提出的飞秒激光刻蚀方法能够抑制微加工误差的影响,提高MEMS陀螺仪的性能。
刘宇航刘海平郑恒煜刘经勇陈志勇张嵘
关键词：MEMS陀螺仪飞秒激光
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