陈志勇
- 作品数:79 被引量:175H指数:7
- 供职机构:清华大学更多>>
- 发文基金:国防科技技术预先研究基金中国人民解放军总装备部预研基金国家科技重大专项更多>>
- 相关领域:航空宇航科学技术自动化与计算机技术交通运输工程机械工程更多>>
- 一种数据驱动的运算放大器
- 本发明实施例公开了一种数据驱动的运算放大器,该运算放大器包括:相互连接的N型和P型互补输入的循环折叠跨导运算放大器电路以及数据驱动的运算放大器偏置电路;该数据驱动的运算放大器偏置电路包括输入差分信号比较器;输入差分信号比...
- 魏琦周斌李享陈志勇张嵘
- 文献传递
- 线振动硅微机械陀螺结构误差参数分离和辨识被引量:14
- 2007年
- 推导了线振动微机械陀螺的三自由度误差力学方程,并详细分析了陀螺耦合误差的产生机理。分析结果表明,各种结构误差是导致陀螺耦合误差信号的主要原因。在此基础上,利用振动和模态理论给出了陀螺结构误差参数的分离和辨识的试验方法和结果。试验结果表明,同相耦合分量和正交耦合分量是微机械陀螺的两种主要误差信号,造成正交耦合的主要原因是驱动轴和检测轴之间的刚度耦合以及驱动轴和检测轴各自的刚度不对称,造成同相耦合的主要原因是驱动轴和检测轴之间的阻尼耦合以及检测轴刚度不对称和驱动力不对称。结构误差参数的分离和辨识试验方法将为下一步的陀螺结构优化、微加工工艺改进以及耦合误差抑制提供基础。
- 杨军高钟毓张嵘陈志勇周斌
- 关键词:微机械陀螺
- 高Q值微机电陀螺的快速起振控制方法及装置
- 本发明公开了一种高Q值微机电陀螺的快速起振控制方法及装置,其中,方法包括以下步骤:通过自激振荡方式用预设幅值的驱动信号驱动高Q值微机电陀螺,使微机电陀螺的振动频率趋近于自然频率和微机电陀螺的幅值趋近于设定值,并获取自然频...
- 陈志勇宋霖张嵘周斌
- 文献传递
- 一种基于解耦控制的力平衡闭环方法
- 本发明涉及一种基于解耦控制的力平衡闭环方法,它包括以下步骤:1)生成正弦波ref sin(k)信号;2)对ref sin(k)分别进行0°和90°移相后均进行θ移相;3)得到检测电压数字量s1;4)得到反映MEMS谐振器...
- 周斌张嵘尹鹏陈志勇
- 文献传递
- 高Q值微机电陀螺的快速起振控制被引量:3
- 2018年
- 针对高Q值微机电陀螺的快速起振问题,研究其驱动轴控制方法。分析了高Q值谐振器的振动相位随频率的变化率,阐明了锁相环方案启动时间长且对初始频率偏差敏感的原因。用平均法推导了自激振荡方案下起振初始阶段振幅随时间的变化规律。提出了"自激-锁相"驱动轴控制方案,先采用自激振荡方式使陀螺快速起振,再转为锁相环方式使振动频率精确稳定。经实验测试,采用锁相环方案,当初始频率偏差在±10 Hz以内,陀螺的启动时间为2s;采用自激-锁相方案,只要初始频率偏差在±1 000Hz以内,陀螺均可在0.3s内达到频率误差小于0.01%,在0.4s内达到振幅误差小于0.1%。"自激-锁相"方案大幅度缩短了陀螺的启动时间,而且对陀螺初始频率的设置偏差不敏感,对环境温度变化的适应性好,适用于微机电陀螺的批量生产。
- 陈志勇宋霖张嵘周斌魏琦
- 关键词:起振锁相环自激振荡
- 一种单锚定点四质量块MEMS六轴惯性传感器
- 本发明涉及一种单锚定点四质量块MEMS六轴惯性传感器,该传感器包括具有中心对称结构支撑架、锚定支撑柱和质量块的结构层,通过锚定支撑柱与结构层固定连接的基板层和附着在基板层上靠近结构层一侧的电极层;锚定支撑柱固定设置在支撑...
- 周斌张嵘张天陈志勇
- 一种用于微机电器件的非线性弹性约束结构及约束方法
- 本发明涉及一种用于微机电器件的非线性弹性约束结构及约束方法,包括如下部件:若干固定体和一梁长约束体;若干直梁,若干所述直梁的第一端分别与若干所述固定体一一对应连接,若干所述直梁的第二端分别与所述梁长约束体连接;当所述直梁...
- 陈志勇张嵘周斌魏琦
- 文献传递
- 一种外支撑四质量块MEMS谐振式陀螺仪
- 本发明涉及一种外支撑四质量块MEMS谐振式陀螺仪,该陀螺仪包括基板层和位于基板层上方的结构层,结构层包括拥有四对称轴的八边形平面框架结构的支撑架,四根沿以支撑架对称中心为圆心的圆周对称均匀分布在支撑架外侧的锚定支撑柱,四...
- 周斌张嵘张天陈志勇
- 文献传递
- 用于微机电器件应力检测的片上谐振梁结构及检测方法
- 本发明涉及一种用于微机电器件应力检测的片上谐振梁结构及检测方法,其包括微机电器件和谐振梁;微机电器件包括由上向下依次设置的结构层、锚点层和基片层;谐振梁采用U型结构,其设置在结构层和基片层之间,U型结构的顶部和底部的两端...
- 陈志勇张嵘周斌魏琦王锦
- 文献传递
- 驱动与检测双差动硅微陀螺结构设计和分析被引量:2
- 2016年
- 该文设计了一种驱动轴和检测轴双向差动且双向解耦的硅微机械线振动陀螺。用Ansys有限元分析软件对陀螺敏感结构的振动模态进行了动力学仿真,结果表明该设计可以实现驱动轴和检测轴的双差动振动模态及解耦。理论分析了陀螺的动力学模型,建立了陀螺具有多自由度耦合特性的动力学方程,导出了驱动-检测耦合传递函数,提出了能够反映在工作频率处驱动-检测的综合耦合系数。对加工的微陀螺敏感结构,分别在大气压和100 Pa真空下测试了驱动轴、检测轴和驱动-检测耦合频率响应特性。测试数据验证了刚度耦合参数的一致性。
- 刘悦琛陈志勇
- 关键词:微机械陀螺