2024年7月17日
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王航
作品数:
3
被引量:5
H指数:1
供职机构:
华中光电技术研究所
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相关领域:
理学
电子电信
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合作作者
何光宗
华中光电技术研究所
熊长新
华中光电技术研究所
韩放
华中光电技术研究所
张天行
华中光电技术研究所
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作者
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王航
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熊长新
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何光宗
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张天行
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韩放
传媒
2篇
光学与光电技...
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1篇
2024
2篇
2015
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3
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一种耐压型蓝宝石窗口三波段增透膜及其制备方法
本发明提供了一种耐压型蓝宝石窗口三波段增透膜及其制备方法,制备方法包括如下步骤:蓝宝石基片的镀膜前准备及离子刻蚀清洗;离子束溅射交替镀制二氧化硅和氧化钽:开启双离子源,主离子源:束压1150V~1250V,束流850A~...
王航
徐旭
薛俊
张天行
倪金辉
张政
大面积硫化锌窗口红外保护膜设计与制备
2015年
硫化锌是重要的大尺寸红外光学窗口材料之一。根据硫化锌材料的工艺特性,采用了"减反过渡层+类金刚石膜"的复合结构,对膜系的光学性能进行了优化设计。采用离子束辅助蒸发和化学气相沉积的复合工艺在大面积的硫化锌基底上沉积了红外保护膜。分别采用红外光谱仪及纳米压入仪测试了样品的红外透过率及硬度。结果表明:该薄膜样品硬度较高,且在中波及长波红外波段均具有较高的透过率。大面积硫化锌窗口红外保护膜样品通过了GJB2485规定的环境适应性测试。
何光宗
贺芳
熊长新
韩放
王航
张天行
关键词:
化学气相沉积
环境适应性
组合结构的中波红外带通滤光片研制
被引量:5
2015年
采用长短波通膜系组合结构,对膜系光学性能进行了优化设计以及仿真分析。采用电子束蒸发,离子束辅助沉积工艺在Si基底两面分别沉积长短通膜。样品的透过率采用红外光谱仪测试,在3.7~4.2μm波段范围内平均透过率在80%以上,在3~3.6μm和4.3~5μm波段范围内截止,并将理论设计与实验结果进行了对比分析。样品通过了GJB2485—95规定的环境适应性测试。产品满足设计要求,具有工程化应用价值。
王航
熊长新
何光宗
关键词:
中波红外
电子束蒸发
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