何光宗
- 作品数：11 被引量：14H指数：3
- 供职机构：华中光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家重大科学仪器设备开发专项更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术电子电信更多>>
- 硫化锌基底硬质红外保护薄膜技术研究被引量：3
- 2015年
- 硫化锌在3~5μm和7.7~9.3μm两个波段具有较高透过率,但其脆性大、耐摩擦性能较差,在其表面镀制类金刚石膜保护膜可显著提高其使用性能。直接在硫化锌基底沉积类金刚石膜难以实现,采用匹配层与过渡层的设计思想,制备出类金刚石膜与硫化锌基底之间相互牢固结合的过渡层。通过等离子体化学气相增强法在过渡层上成功制备类金刚石膜。研究了射频功率、气压等对保护膜系力学性能的影响。结果表明,镀制了硬质保护薄膜的硫化锌窗口在3~5μm和7.7~9.3μm双波段的平均透过率均高于90%,膜层硬度为硫化锌窗口近5倍。经环境试验之后,膜层光学性能与机械性能均无变化。
- 张天行李钱陶何光宗熊长新
- 关键词：硫化锌类金刚石膜过渡层
- 氧离子辅助反应蒸发法制备ITO薄膜的研究被引量：4
- 2007年
- 采用氧离子辅助电子束反应蒸发工艺在K9玻璃基底上制备了性能优异的ITO薄膜。通过对薄膜方块电阻和透过率的测量分析，研究了基底温度、离子束流、沉积速率等工艺参数对ITO薄膜光电性能的影响。发现升高基底温度有利于减小薄膜的短波吸收，但过高的基底温度会增加薄膜的电阻率，合适的沉积速率可以同时改善薄膜的光学和电学性能。在比较理想的工艺参数下制备的ITO薄膜的电阻率约为5．4×10^-4Ω·cm，可见光（波长范围425-685nm）平均透过率达84．8％，其光电性能均达到实用化要求。
- 何光宗熊长新姚细林
- 关键词：ITO薄膜
- 大面积硫化锌窗口红外保护膜设计与制备
- 2015年
- 硫化锌是重要的大尺寸红外光学窗口材料之一。根据硫化锌材料的工艺特性,采用了"减反过渡层+类金刚石膜"的复合结构,对膜系的光学性能进行了优化设计。采用离子束辅助蒸发和化学气相沉积的复合工艺在大面积的硫化锌基底上沉积了红外保护膜。分别采用红外光谱仪及纳米压入仪测试了样品的红外透过率及硬度。结果表明:该薄膜样品硬度较高,且在中波及长波红外波段均具有较高的透过率。大面积硫化锌窗口红外保护膜样品通过了GJB2485规定的环境适应性测试。
- 何光宗贺芳熊长新韩放王航张天行
- 关键词：化学气相沉积环境适应性
- 靶压对磁控溅射GeC薄膜折射率的影响被引量：2
- 2009年
- 采用磁控溅射技术,以碳氢气体和氩气为工作气体,在Ge基底上制备了GeC薄膜。研究了靶压对薄膜折射率的影响,发现在较高的靶压下制备的GeC薄膜具有较低的折射率,而在较低的靶压下则得到了高折射率的薄膜。通过控制溅射靶压,制备了折射率在2.5～3.8之间可变的GeC薄膜。利用拉曼光谱研究了GeC薄膜的结构。薄膜样品的硬度测试表明,较低折射率的GeC薄膜具有较高的硬度。
- 何光宗熊长新李钱陶吴小丽
- 关键词：磁控溅射折射率
- 常温溅射DLC膜的工艺研究
- 2009年
- 常温下,采用磁控溅射技术成功地在Ge基底上制备了类金刚石膜,并研究了溅射功率、碳氢气体与氩气流量比、溅射频率、基底负偏压等工艺参数对类金刚石膜沉积速率的影响和薄膜的光学性能。结果表明:溅射功率、溅射频率、碳氢气体与氩气流量比对沉积速率有显著的影响。沉积速率随着溅射功率的增大而增大,随着溅射频率的减小而增大。随着碳氢气体与氩气流量比、基底负偏压的增大沉积速率先增大后降低。制备的类金刚石膜具有较宽的光谱透明区,Ge基底单面沉积的类金刚石膜其峰值透过率最高达到63.99%。
- 吴小丽熊长新李钱陶何光宗
- 关键词：磁控溅射类金刚石膜沉积速率透过率
- 反中波透长波红外分束膜的设计与制备研究
- 2017年
- 设计了45°入射反中波透长波分束膜系,并进行了误差仿真分析。选用"Ge+ZnS"和"ZnS+YF3"两组高、低折射率材料,采用离子辅助电子束蒸发技术,经过大量的镀制实验与工艺改进,解决了薄膜应力累积、不牢固、波长易偏移等问题,获得了45°入射中波红外3.7~4.8μm波段反射率R≥98%,长波红外7.7~10.3μm波段透过率T≥95%、光学性能良好的反中波透长波红外分束膜。镀膜样品一次性通过了GJB 2485-1995规定的高低温及附着力试验。试验结果表明,膜层致密性和附着力良好。
- 孙义可何光宗熊长新
- 关键词：红外离子辅助沉积环境试验
- 反应式离子辅助沉积增强型ITO膜制备工艺研究
- 在恶劣的海洋环境下,军用光电装备窗口容易沾水或凝结水珠,严重时还会结冰、结霜或发雾,从而直接影响了目视观测及光信号采集的效果。鉴此,我们特开展了ITO透明导电膜的专项研究。所有制备工艺实验均是在进口莱宝SYRUSpro1...
- 姚细林何光宗朱谧熊长新
- 文献传递
- 组合结构的中波红外带通滤光片研制被引量：5
- 2015年
- 采用长短波通膜系组合结构，对膜系光学性能进行了优化设计以及仿真分析。采用电子束蒸发，离子束辅助沉积工艺在Si基底两面分别沉积长短通膜。样品的透过率采用红外光谱仪测试，在3．7～4．2μm波段范围内平均透过率在80％以上，在3～3．6μm和4．3～5μm波段范围内截止，并将理论设计与实验结果进行了对比分析。样品通过了GJB2485—95规定的环境适应性测试。产品满足设计要求，具有工程化应用价值。
- 王航熊长新何光宗
- 关键词：中波红外电子束蒸发
- 一种锗基底红外双波段保护膜
- 根据GeC薄膜折射率可调的特点,在Ge基底上设计了一种红外双波段保护膜。采用磁控溅射技术,在Ge基底上沉积了不同折射率的GeC薄膜以及DLC膜和红外双波段保护膜。利用红外光谱仪测试了样品的红外透射光谱,利用偏光显微镜和显...
- 何光宗熊长新李钱陶吴小丽
- 关键词：双波段保护膜磁控溅射
- 文献传递
- ZnS基底红外双波段保护膜研究
- 采用磁控溅射技术,在ZnS基底上沉积了GeC/DLC构成的红外双波段（3.7～4.8um和7.7～10.3um）保护膜。利用红外光谱仪测试了样品的红外透射光谱,双面镀膜样品在3.7～4.8um和7.7～10.3um波段范...
- 吴小丽熊长新李钱陶何光宗
- 关键词：双波段ZNS磁控溅射
- 文献传递
