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秦岚

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：四川大学制造科学与工程学院更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇自适
  • 1篇自适应
  • 1篇自适应策略
  • 1篇微结构器件
  • 1篇斜坡
  • 1篇面形
  • 1篇表面形貌测量

机构

  • 1篇四川大学

作者

  • 1篇赵世平
  • 1篇许斌
  • 1篇陈伟
  • 1篇刘俊
  • 1篇秦岚

传媒

  • 1篇中国仪器仪表...

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于斜率自适应策略的陡峭斜坡型微结构器件表面形貌测量
微结构器件既是微制造技术的重要研究内容，也是精密/超精密测量领域的研究热点和重点；微结构器件的加工精度需要可靠的精密形貌测量技术作为质量保障的有效手段。然而，不断出现的具有陡峭斜坡特征的微结构器件(如深沟槽微结构器件、渐...
许斌陈伟赵世平刘俊秦岚
关键词：微结构器件
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共1页<1>
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