公共文化服务平台

共 2 条记录，以下是 1-2

全选清除导出

排序方式：

基于斜率自适应策略的陡峭斜坡型微结构器件表面形貌测量: 微结构器件既是微制造技术的重要研究内容，也是精密/超精密测量领域的研究热点和重点；微结构器件的加工精度需要可靠的精密形貌测量技术作为质量保障的有效手段。然而，不断出现的具有陡峭斜坡特征的微结构器件(如深沟槽微结构器件、渐...; 许斌陈伟赵世平刘俊秦岚; 关键词：微结构器件

接触式扫描过程中探针-样品赫兹耦合的建模与分析: 2016年; 随着微器件测量系统中微测头尺寸不断减小和测量精度不断提高,微纳测量中测头—样品间的形变误差对系统不确定度的影响是不能忽略的。为了研究二者间的相互作用和形变问题,根据材料应力—应变属性和赫兹理论,建立了微测球与样品的接触模型,并以玻璃测头和光学器件为分析对象,探讨了测量力、测球半径、样品曲率半径以及不同材质样品等对形变、形变区域半宽长度及最大赫兹应力的影响。结果表明:测球半径与样品曲率半径的作用机理相似,而且相较于探针测球半径因素,测量力和被测样品不同曲率半径因素对探针—样品间形变的影响更为显著。; 陈伟许斌赵世平; 关键词：赫兹理论测量力

全选清除导出

共1页<1>

陈伟