刘倩
- 作品数：2 被引量：4H指数：1
- 供职机构：中南大学材料科学与工程学院更多>>
- 相关领域：一般工业技术金属学及工艺更多>>
- 沉积参数对Mo-Re合金箔片上沉积金刚石薄膜的影响
- 采用热丝化学气相沉积法（HPCVD），以甲烷和氢气为反应气体，在Mo-Re合金箔片（d=6μm）上沉积金刚石薄膜。采用X射线衍射仪（XRD），扫描电子显微镜（SEM），显微激光拉曼光谱仪（Raman）分别对金刚石薄膜相组...
- 王健余志明吴晓斌刘倩
- 关键词：金刚石薄膜
- 沉积参数对Mo-Re合金基体上沉积金刚石薄膜的影响被引量：4
- 2011年
- 采用热丝化学气相沉积法(HFCVD),以甲烷和氢气为反应气体,在综合性能良好的Mo-40%Re(摩尔分数)合金基体上沉积金刚石薄膜。采用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)和显微激光拉曼光谱仪(Raman)分别对金刚石薄膜相组成、表面形貌、晶粒大小和质量等进行检测分析,研究CVD沉积参数,如基体温度(θs)、碳源浓度(R,CH4的体积分数)和沉积压强(p),对金刚石形核、生长和金刚石成膜的影响。结果表明:在合适的基体预处理条件下,当θs=750℃,R=3%,p=3.5 kPa时,薄膜平均线生长速率高达1μm/h,得到的金刚石膜完整致密,晶粒大小均匀,纯度较高,具有明显的(111)织构。
- 王健余志明吴晓斌刘倩
- 关键词：金刚石薄膜RAMAN光谱阴极材料
