您的位置： 专家智库 > >

王瑶

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：湖南大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金宁波市自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇栅介质
  • 1篇微孔
  • 1篇晶体管
  • 1篇薄膜晶体
  • 1篇薄膜晶体管
  • 1篇SIO
  • 1篇SIO2

机构

  • 1篇湖南大学

作者

  • 1篇李想
  • 1篇颜钟惠
  • 1篇轩瑞杰
  • 1篇王瑶
  • 1篇吴国栋

传媒

  • 1篇材料导报

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
基于微孔SiO_2栅介质的透明氧化物薄膜晶体管
2013年
采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)法制备微孔SiO2薄膜并将其作为栅介质,制作了基于微孔SiO2栅介质层的透明氧化物薄膜晶体管。利用场发射扫描电镜、阻抗分析仪以及半导体分析仪对样品进行表征。结果表明,微孔SiO2栅介质具有双电层效应,这种微孔SiO2栅介质透明氧化物薄膜晶体管器件具有工作电压低,开关电流比大,透光性高,稳定性强等良好性能。
颜钟惠王瑶吴国栋轩瑞杰李想
关键词：薄膜晶体管
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0