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肖少文

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：南京航空航天大学材料科学与技术学院更多>>
发文基金：江苏高校优势学科建设工程资助项目国家高技术研究发展计划国家大学生创新性实验计划更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇性能研究
  • 1篇光电
  • 1篇光电性
  • 1篇光电性能
  • 1篇A-SI
  • 1篇X

机构

  • 1篇南京航空航天...

作者

  • 1篇吴天如
  • 1篇沈鸿烈
  • 1篇肖少文
  • 1篇丁滔
  • 1篇程彬
  • 1篇陆婷

传媒

  • 1篇人工晶体学报

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
热丝CVD法制备a-Si_(1-x)C_x薄膜的光电性能研究
2011年
本文以硅烷、乙炔和氢气为气源,采用热丝CVD法制备了非晶碳化硅薄膜。通过FITR、紫外-可见光分光光度计、四探针仪、台阶仪和霍尔效应测试仪对薄膜的光学和电学性能进行了系统的研究。结果表明,随着乙炔气体流量的增加,薄膜中碳含量和薄膜光学带隙呈现逐渐递增的趋势,其中光学带隙由1.7 eV上升到2.1 eV。同时还发现B掺杂薄膜的空穴浓度随着B2H6与硅烷流量比的增大而显著增大,而霍尔迁移率的变化趋势则与空穴浓度的变化趋势相反,与二者对应的总体效果是薄膜的电阻率首先显著下降,然后缓慢下降至最小值1.94Ω.cm,此后电阻率略有上升。
程彬沈鸿烈吴天如丁滔肖少文陆婷
关键词：光电性能
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共1页<1>
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