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赵俊
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
西安航天复合材料研究所
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相关领域:
化学工程
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合作作者
胡振英
西安航天复合材料研究所
邢如鹏
西安航天复合材料研究所
孟凡才
西安航天复合材料研究所
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2016
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单晶硅直拉炉用炭/炭埚帮的侵蚀机理探讨
被引量:2
2016年
埚帮是单晶硅直拉炉中最重要的结构损耗件,随着直拉法热场尺寸的不断增大,主流单晶硅制造企业已经大批量采用炭/炭复合材料埚帮替代石墨埚帮。采用针刺法制备毛坯预制体,经化学气相沉积、树脂浸渍炭化增密和高温纯化处理后制成炭/炭复合材料埚帮。根据热场温度及元素分析炭/炭埚帮侵蚀破坏的机理,对使用后的炭/炭埚帮断口进行观察分析,结合反应机理进而推断影响埚帮使用寿命的主要因素,为提高炭/炭埚帮寿命的设计提供参考。
邢如鹏
姚西明
胡振英
张灵玉
孟凡才
赵俊
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