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张清洋

作品数：13 被引量：9H指数：2
供职机构：中国科学院光电研究院更多>>
相关领域：机械工程自动化与计算机技术理学电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 11篇专利
  • 2篇期刊文章

领域

  • 4篇机械工程
  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 7篇波像差
  • 6篇物镜
  • 5篇光谱
  • 5篇光谱仪
  • 4篇色散
  • 4篇白光
  • 3篇单色
  • 3篇掩模
  • 3篇掩模板
  • 3篇照明模式
  • 3篇衰减器
  • 3篇投影物镜
  • 3篇准直
  • 3篇准直物镜
  • 3篇滤光片
  • 3篇宽光谱
  • 3篇工作波长
  • 3篇光刻
  • 3篇光刻机
  • 3篇光学

机构

  • 13篇中国科学院光...
  • 1篇北京信息科技...
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 13篇张清洋
  • 11篇王宇
  • 11篇齐月静
  • 8篇卢增雄
  • 8篇齐威
  • 8篇苏佳妮
  • 8篇杨光华
  • 8篇李兵
  • 4篇刘广义
  • 3篇周翊
  • 2篇韩晓泉
  • 1篇祝连庆
  • 1篇冯泽斌
  • 1篇李兵

传媒

  • 1篇国外电子测量...
  • 1篇自动化应用

年份

  • 1篇2020
  • 1篇2019
  • 3篇2018
  • 4篇2017
  • 2篇2014
  • 2篇2013
共 13 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置和方法
本发明公开了一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置和方法，所述装置包括光源、投影物镜、探测器、工作台和掩模板，掩模板包括多照明模式模板和测试标记，激光将该测试标记经由投影物镜成像；探测器具有参考标记和在该参考标记下方的光电...
刘广义齐月静张清洋周翊王宇
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一种光谱共焦测量系统在线标定装置与方法
本发明公开了一种光谱共焦测量系统在线标定装置和方法，该装置包括白光宽光谱光源、滤光片、双分支光纤、光纤出射光束、色散物镜、色散物镜出射光束、待测物、位移传感器、光谱仪和计算机，该方法包括转动滤光片的滤光片轮，让白光宽光谱...
齐月静卢增雄杨光华齐威苏佳妮张清洋李兵王宇
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一种光谱共焦测量系统在线标定装置
本实用新型公开了一种光谱共焦测量系统在线标定装置，该装置包括白光宽光谱光源、滤光片、双分支光纤、光纤出射光束、色散物镜、色散物镜出射光束、待测物、位移传感器、光谱仪和计算机，通过转动滤光片的滤光片轮，让白光宽光谱光源发出...
齐月静卢增雄杨光华齐威苏佳妮张清洋李兵王宇
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一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置和方法
本发明公开了一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置和方法，所述装置包括光源、投影物镜、探测器、工件台和掩模板，掩模板包括多照明模式模板和测试标记，激光将该测试标记经由投影物镜成像；探测器具有参考标记和在该参考标记下方的光电...
刘广义齐月静张清洋周翊王宇
一种基于夏克‐哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置与方法
本发明公开了一种基于夏克‐哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置和测量方法，该装置包括波长可调谐激光器、衰减器、聚焦物镜、Y型光纤耦合器、第一五维调整台、第一物镜、第一小孔板、准直物镜、分光板、第一夏克‐哈特曼波前传感...
齐月静卢增雄齐威苏佳妮杨光华张清洋李兵王宇
一种基于夏克‐哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置
本实用新型公开了一种基于夏克‐哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置，该装置包括波长可调谐激光器、衰减器、聚焦物镜、Y型光纤耦合器、第一五维调整台、第一物镜、第一小孔板、准直物镜、分光板、第一夏克‐哈特曼波前传感器、成...
齐月静卢增雄齐威苏佳妮杨光华张清洋李兵王宇
一种微位移测量装置
本实用新型提出一种微位移测量装置，该装置包括白光宽光谱光源、双分支光纤、光纤出射光束、色散物镜、色散物镜出射光束、待测物、光纤连接器、多分支光纤、光谱仪和计算机。本实用新型通过采用多个固定光栅的微型光谱仪，在提高系统分辨...
王宇卢增雄齐月静苏佳妮齐威杨光华张清洋李兵
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一种基于夏克-哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置与方法
本发明公开了一种基于夏克‐哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置和测量方法，该装置包括波长可调谐激光器、衰减器、聚焦物镜、Y型光纤耦合器、第一五维调整台、第一物镜、第一小孔板、准直物镜、分光板、第一夏克‐哈特曼波前传感...
齐月静卢增雄齐威苏佳妮杨光华张清洋李兵王宇
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基于LABVIEW的CMOS相机图像采集系统设计被引量：4
2014年
应用 LABVIEW 的视觉运动模块和调用库函数节点,设计一个实时显示控制的 CMOS 相机系统,其具有操作简单、扩展性强的特点。
郭漭祝连庆韩晓泉刘广义冯泽斌张清洋
关键词：LABVIEWDLL
一种微位移测量装置与测量方法
本发明提出一种微位移测量装置与测量方法，该装置包括白光宽光谱光源、双分支光纤、光纤出射光束、色散物镜、色散物镜出射光束、待测物、光纤连接器、多分支光纤、光谱仪和计算机，该方法包括调整待测物的轴向位移，使其位于色散物镜的工...
王宇卢增雄齐月静苏佳妮齐威杨光华张清洋李兵
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