2025年6月21日
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屈明山
作品数:
35
被引量:8
H指数:2
供职机构:
中国工程物理研究院电子工程研究所
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发文基金:
中国工程物理研究院科学技术发展基金
国家自然科学基金
中国人民解放军总装备部预研基金
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相关领域:
电子电信
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机械工程
电气工程
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合作作者
熊壮
中国工程物理研究院电子工程研究...
张照云
中国工程物理研究院电子工程研究...
袁明权
中国工程物理研究院电子工程研究...
张茜梅
中国工程物理研究院电子工程研究...
刘显学
中国工程物理研究院电子工程研究...
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南京邮电大学
作者
35篇
屈明山
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熊壮
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张照云
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刘显学
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张茜梅
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1篇
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7篇
2013
1篇
2011
共
35
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一种基于齿轮式的平面鉴码轮结构
本实用新型公开了一种基于齿轮式的平面鉴码轮结构,其特征在于:包括两个半径相同的鉴码轮,两个鉴码轮的端面有交叠部分,以鉴码轮的中心为圆心将两个相向的端面上划分若干环形轨道,环形轨道的里面为内圈,中间的环形轨道和最外面的环形...
支钞
李严军
唐彬
屈明山
王月
王劼
郭建宏
张德
谢晋
基于微型力矩器的石英挠性加速度计及其制造方法
本发明公开了一种基于微型力矩器的石英挠性加速度计及其制造方法,该加速度计包括石英挠性摆片,所述石英挠性摆片的上下侧均依次放置有永磁薄膜、电容极板和硅基线圈,从而使得所述石英挠性加速度计形成为以石英挠性摆片为对称中心、上下...
王月
支钞
屈明山
李严军
李枚
一种扁平状旋转电机
本发明公开了一种扁平旋转电机,所述电机包括转子、定子和铁芯三部分,整个电机呈扁平形状;其中,转子由转子基板和转子永磁两部分组成;定子由定子基板和定子线圈两部分组成,定子线圈包括外环线圈和内环线圈两部分;铁芯位于定子线圈正...
屈明山
熊壮
王月
支钞
李严军
王颉
王斌
张青芝
基于圆片级阳极键合封装的高g_n值压阻式微加速度计
被引量:3
2013年
设计了一种适合于高gn值压阻式微加速度计圆片级封装的结构,解决了芯片制造工艺过程中电极通道建立、焊盘保护、精确划片等关键技术。采用玻璃—硅—玻璃三层阳极键合的方式进行圆片级封装,较好地解决了芯片密封性、小型化和批量化等生产难题。在4 in生产线上制作的高gn值压阻式微加速度计样品,尺寸仅为1 mm×1 mm×0.8 mm;对传感器进行的校准与抗冲击性能测试,结果表明:样品具备105gn的抗冲击能力、0.15μV/gn/V的灵敏度以及200 kHz的谐振频率。
袁明权
孙远程
张茜梅
武蕊
屈明山
熊艳丽
关键词:
微机电系统
圆片级封装
微加速度计
压阻
阳极键合
一种压阻式压力传感器及其制备方法
本发明属于微电子机械系统领域,提供一种压阻式压力传感器及其制备方法。传感器采用5层SOI硅片100和普通硅片200制成。制备方法包括步骤:S02:在5层SOI硅片的第一结构层上刻蚀形成岛状结构;S02:使普通硅片的上下表...
张照云
刘显学
谢晋
杨杰
赵宝林
熊壮
李严军
沈朝阳
刘振华
屈明山
王颉
王旭光
一体式石英双振梁加速度计
本实用新型公开了一种一体式石英双振梁加速度计,该一体式石英双振梁加速度计包括:一体成型的装配区、挠性梁、振梁、质量块及金属电极,质量块通过挠性梁及振梁连接于装配区;振梁包括第一直梁及第二直梁,第一直梁及第二直梁并列设置,...
张照云
刘显学
李枚
屈明山
沈朝阳
许蔚
彭勃
熊壮
苏伟
一种基于MEMS微细线圈的微区域磁化装置及方法
本发明公开了一种基于MEMS微细线圈的微区域磁化装置及方法,所述装置包括包括:脉冲电源、细微线圈、基体和永磁薄膜;所述方法包括:首先利用微纳加工工艺制备微细线圈,接着制备永磁薄膜,将永磁薄膜贴合在微细线圈的基体上,在微细...
谢晋
支钞
屈明山
李严军
王颉
张慧
刘鑫
陶宏
一种熔石英悬臂梁-质量块结构及其加工方法
本发明涉及微电子机械系统微加工技术领域,本发明公开一种熔石英悬臂梁‑质量块结构及其加工方法。加工方法包括以下步骤:根据悬臂梁‑质量块结构的图形,采用超快激光切割加工熔石英基片,在熔石英基片上形成上下贯穿的切割通道;清洗熔...
张照云
沈朝阳
王颉
熊壮
赵宝林
刘振华
王旭光
屈明山
郭建宏
魏云川
具有一体式应力隔离下极板的微加速度计及其加工方法
本发明涉及传感器技术领域,提供一种具有一体式应力隔离下极板的微加速度计及其加工方法。微加速度计包括下极板和连接至下极板的应力缓冲板。下极板包括下极板主体和与下极板主体一体成型的隔离结构,应力缓冲板包括应力缓冲板主体和位于...
杨杰
赵宝林
张照云
熊壮
屈明山
李严军
郑英彬
一种三凸梁式微机械加速度传感器
本发明公开了一种三凸梁式微机械加速度传感器。所述的传感器包括敏感芯片和下玻璃板;其中,敏感芯片采用结构对称的双端固支的双质量块,共包含两个锚区、三个敏感凸梁、两个质量块、四个压敏电阻。其连接关系是,所述的两个质量块通过一...
孙远程
苏伟
袁明权
张茜梅
王海青
武蕊
屈明山
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