张茜梅
- 作品数：25 被引量：47H指数：3
- 供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
- 发文基金：中国工程物理研究院科学技术发展基金中国工程物理研究院电子工程研究所科技创新基金中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程兵器科学与技术更多>>
- 一种全集成冲击片点火器及其制备方法
- 本发明公开了一种全集成冲击片点火器及其制备方法，属于火工品技术领域。它基于微电子机械系统(MEMS)加工技术，在桥箔、飞片、加速膛和反射片的加工过程中同时完成了装配，有利于提高器件的装配精度，而且具备集成电路并行加工的特...
- 施志贵席仕伟杨黎明张茜梅刘娟唐海林
- 文献传递
- 基于圆片级阳极键合封装的高g_n值压阻式微加速度计被引量：3
- 2013年
- 设计了一种适合于高gn值压阻式微加速度计圆片级封装的结构,解决了芯片制造工艺过程中电极通道建立、焊盘保护、精确划片等关键技术。采用玻璃—硅—玻璃三层阳极键合的方式进行圆片级封装,较好地解决了芯片密封性、小型化和批量化等生产难题。在4 in生产线上制作的高gn值压阻式微加速度计样品,尺寸仅为1 mm×1 mm×0.8 mm;对传感器进行的校准与抗冲击性能测试,结果表明:样品具备105gn的抗冲击能力、0.15μV/gn/V的灵敏度以及200 kHz的谐振频率。
- 袁明权孙远程张茜梅武蕊屈明山熊艳丽
- 关键词：微机电系统圆片级封装微加速度计压阻阳极键合
- 双框架解耦微陀螺原理样机研制
- 2010年
- 为了把驱动工作模态和检测工作模态有效隔离,以减小模态间的互相干扰,设计了一种双框架解耦微机械陀螺。通过采用可工程化的鲁棒优化结构设计和工艺补偿的制造工艺,实现了工艺误差范围内的稳健设计。这种内外框架结构的微陀螺设计,包括自激闭环驱动电路和开环检测电路,对微陀螺进行测试,得到微陀螺驱动模态品质因素>2000,检测模态品质因素>800,量程为2400°/s,线性度<0.3%,灵敏度为1°/s。
- 唐海林刘显学周浩郑英彬张茜梅施志贵吴嘉丽
- 关键词：微陀螺检测电路
- 一种用于微结构制造的全干法刻蚀硅溶片制备方法
- 本发明公开了一种用于微结构制造的全干法刻蚀硅溶片制备方法，属于微电子机械系统（MEMS）加工技术领域。本发明的制备方法采用以下加工步骤：(a)玻璃电极制备；(b)硅台阶和微结构制备；(c)玻璃-硅静电键合和硼硅玻璃划槽；...
- 施志贵席仕伟张茜梅刘娟王亚军
- 一种双悬臂梁式微机械加速度传感器
- 本实用新型提供了一种双悬臂梁式微机械加速度传感器。其特征在于所述的传感器包括敏感芯片和下玻璃板，其中，敏感芯片含有框架、悬臂梁和质量块以及四个压敏电阻，其连接关系是,所述框架内设置有两个相互独立的悬臂梁，悬臂梁的一端与框...
- 孙远程袁明权张茜梅王海青武蕊屈明山
- 文献传递
- 一种全集成冲击片点火器及其制备方法
- 本发明公开了一种全集成冲击片点火器及其制备方法，属于火工品技术领域。它基于微电子机械系统(MEMS)加工技术，在桥箔、飞片、加速膛和反射片的加工过程中同时完成了装配，有利于提高器件的装配精度，而且具备集成电路并行加工的特...
- 施志贵席仕伟杨黎明张茜梅刘娟唐海林
- 文献传递
- 体声波壁面剪切应力传感器
- 本发明公开了体声波壁面剪切应力传感器，包括基底、支撑层、检测元件、敏感元件、外壳、上盖板和读出电路，基底位于支撑层下方，支撑层、外壳和上盖板之间形成一空腔结构；支撑层上安装位于空腔内的检测元件，检测元件上安装敏感原件；敏...
- 高杨赵俊武雷强王雄邱华诚刘婷婷袁明权张茜梅
- 文献传递
- 应用微波复合介质基片制造微带电路技术
- 本文详细叙述了采用微电子平面工艺应用新型材料微波复合介质基片制作微带电路的工艺技术,介绍了主要工艺技术以及测量方法等．
- 张茜梅赵龙
- 关键词：微带线微带电路
- 文献传递
- 一种单凸梁式微机械加速度传感器
- 本实用新型提供了一种单凸梁式微机械加速度传感器。所述的传感器包括敏感芯片和下玻璃板；其中，敏感芯片含有框架、敏感凸梁、质量块及压敏电阻；其连接关系是，所述框架内设置有敏感凸梁，敏感凸梁一端与框架相连，另一端与质量块相连，...
- 孙远程袁明权张茜梅王海青武蕊屈明山
- 文献传递
- 0.14 THz超高速无线通信系统实验研究被引量：25
- 2011年
- 介绍了0.14THz超高速无线通信实验系统的主要组成部分和主要实验结果。从太赫兹电子学出发,基于太赫兹半导体器件和宽带数字调制解调技术,采用一种"低频段高速矢量调制+谐波混频+放大"的太赫兹高速信息传输技术路线,在国内首次成功实现了0.14THz 0.5km 10Gb/s高速信号实时传输和软件化事后解调,同时进行了4路高清视频信号的传输与解调。
- 邓贤进王成林长星陈琦周传明张健刘仓理姚军肖仕伟苏伟刘杰吴尚昀黄庆钟张茜梅颜军肖勇
- 关键词：太赫兹电子学通信系统
