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王亚楠

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院沈阳自动化研究所更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 2篇半导体
  • 1篇代理
  • 1篇电源
  • 1篇调度
  • 1篇调度模块
  • 1篇断电
  • 1篇软件接口
  • 1篇数据采集
  • 1篇通信
  • 1篇通信模块
  • 1篇通信系统
  • 1篇网络
  • 1篇网络管理
  • 1篇网络管理协议
  • 1篇接口
  • 1篇晶圆
  • 1篇开发包
  • 1篇简单网络
  • 1篇简单网络管理...
  • 1篇工厂设备

机构

  • 3篇中国科学院
  • 1篇中国科学院研...

作者

  • 3篇刘明哲
  • 3篇王亚楠
  • 2篇叶家发
  • 2篇徐皑冬
  • 1篇金妮
  • 1篇刘元锋
  • 1篇王晨曦

传媒

  • 1篇机械设计与制...

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 1篇2013
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
SNMP在半导体装备控制系统中的应用
2013年
半导体装备系统通常由具有不同功能的可控部件组成,这些部件共同实现了半导体装备系统的底层输入输出等功能。针对半导体装备控制系统对不同功能的可控部件的一致性控制需求,实现了一种基于简单网络管理协议的分布式I/O通信系统,系统不仅可对所有支持SNMP协议的设备进行通信和控制,还对其他不支持SNMP协议的设备使用一种SNMP封装的方法,使得系统对所有设备能够统一采用SNMP的方式进行通信,从而满足半导体装备控制系统的一致性控制需求。
王亚楠刘明哲叶家发
关键词：简单网络管理协议通信系统不间断电源
一种多腔室晶圆加工设备传输控制系统
本发明涉及一种多腔室晶圆加工设备传输控制系统，包括系统初始化模块、通信模块、传输任务处理模块、调度模块、执行模块、物料跟踪模块、错误与异常处理模块。本发明所提供的多腔室晶圆加工设备传输控制系统一方面实现了多腔室加工设备中...
刘明哲徐皑冬王亚楠金妮王晨曦刘元锋
文献传递
面向半导体制造设备的数据采集实现方法
本发明涉及一种面向半导体制造设备的数据采集实现方法，步骤为：分别在客户和设备服务端建立Web服务，Web通信中使用代理类；基于安全套接层协议的客户安全认证；自定义SOAPHeader数据格式；建立设备信息数据库；使用委托...
刘明哲徐皑冬叶家发王亚楠
文献传递
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