叶家发
- 作品数：3 被引量：1H指数：1
- 供职机构：中国科学院沈阳自动化研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：机械工程更多>>
- 面向半导体设备的Interface A通信方法研究被引量：1
- 2012年
- 针对半导体设备工厂自动化的设备数据采集需求,给出了一种基于Interface A标准的通信方法,该方法构造了设备的通用模型,设计了设备通信的安全认证和授权机制,并给出了采集设备实时数据的方法,可满足工厂自动化系统对半导体设备的数据采集和设备控制需求。
- 叶家发刘明哲
- 关键词：半导体设备INTERFACE数据采集工厂自动化
- SNMP在半导体装备控制系统中的应用
- 2013年
- 半导体装备系统通常由具有不同功能的可控部件组成,这些部件共同实现了半导体装备系统的底层输入输出等功能。针对半导体装备控制系统对不同功能的可控部件的一致性控制需求,实现了一种基于简单网络管理协议的分布式I/O通信系统,系统不仅可对所有支持SNMP协议的设备进行通信和控制,还对其他不支持SNMP协议的设备使用一种SNMP封装的方法,使得系统对所有设备能够统一采用SNMP的方式进行通信,从而满足半导体装备控制系统的一致性控制需求。
- 王亚楠刘明哲叶家发
- 关键词：简单网络管理协议通信系统不间断电源
- 面向半导体制造设备的数据采集实现方法
- 本发明涉及一种面向半导体制造设备的数据采集实现方法，步骤为：分别在客户和设备服务端建立Web服务，Web通信中使用代理类；基于安全套接层协议的客户安全认证；自定义SOAPHeader数据格式；建立设备信息数据库；使用委托...
- 刘明哲徐皑冬叶家发王亚楠
- 文献传递
