刘振亚
- 作品数：4 被引量：0H指数：0
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- 一种高指向性MEMS声矢量传感器结构设计与分析
- 2012年
- 设计了一种高指向性微机电系统(MEMS)声矢量传感器,结构采用了硅-玻璃(SOG)工艺,增大流体间隙,减小振动阻尼,并利用ANSYS软件分析了流体间隙对指向性的影响,以验证结构的高指向性。结果表明,在流体间隙从5μm增大到30μm时,振动振幅增大30倍,相位差最高增大126°,当入射角度变化量为80°时,相位差变化量增大了40°,传感器指向性得到了显著提高。此种设计有助于促进声矢量传感器的发展。
- 刘振亚苑伟政邓进军任森马骋宇
- 关键词：微机电系统声矢量传感器相位差
- 一种新型MEMS仿生声矢量传感器及其加工方法
- 本发明公开了一种新型MEMS仿生声矢量传感器结构，属于声学领域。该结构的左侧振动膜片1和右侧振动膜片2上均有可动梳齿6，并与连在锚点区域9的固定梳齿7形成梳齿对。梳齿对结构弥补了以往结构由于存在加强肋无法进行电容检测的缺...
- 苑伟政刘振亚任森邓进军庄成乾
- 文献传递
- 铝表面微凹槽制备方法
- 本发明公开了一种新的一种铝表面微凹槽制备方法，属于机械制备技术领域。本发明通过光刻和湿法刻蚀制备硅微结构，通过硅微结构压印铝表面获得微凹槽，从而实现铝表面微凹槽的可控制备。光刻刻蚀可以控制硅微结构的形状和周期，具有很好的...
- 何洋刘振亚任森陈俊田梦君乔大勇苑伟政姜澄宇
- 文献传递
- 一种微型仿蟋蟀纤毛结构声压传感器及其制作方法
- 本发明公开了一种微型仿蟋蟀纤毛结构声压传感器及其制造方法，属于微机电系统(MEMS)领域。该传感器的蟋蟀纤毛结构1位于敏感膜片2上方，敏感膜片2通过支撑梁3连在环形固定结构4上；敏感膜片2与玻璃基底6上的两个检测电极5形...
- 马志波姜澄宇苑伟政刘振亚
- 文献传递
