马骋宇
- 作品数：10 被引量：3H指数：1
- 供职机构：西北工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重大科学仪器设备开发专项国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术航空宇航科学技术理学一般工业技术更多>>
- 底层隔板法壁面剪应力测量技术研究与发展
- 2017年
- 介绍了机械式底层隔板测量流体壁面剪应力的基本原理。重点阐述了基于微机电系统(MEMS)的微型底层隔板的集成化结构及其工作原理,介绍了其研究发展及测试应用情况。最后,简要分析了常规剪应力微传感器在高温测试方面的弊端,并结合已有高温摩阻测试研究,提出了未来壁面剪应力测量技术的发展方向。
- 马骋宇马炳和邓进军周梓桐张晗
- 关键词：微机电系统边界层
- 底层隔板式流体壁面剪应力传感器的可控变温模拟加载系统
- 底层隔板式流体壁面剪应力传感器的可控变温模拟加载系统，共包括微位移装置、底层隔板式流体壁面剪应力传感器、精密恒温箱以及数据采集系统；微位移装置为底层隔板式流体壁面剪应力传感器的敏感悬臂梁结构提供精密可控的位移量加载；精密...
- 马炳和马骋宇邓进军
- 文献传递
- 面向壁面剪应力测量的底层隔板微敏感结构设计与制造被引量：2
- 2013年
- 采用MEMS技术加工的底层隔板能够为壁面剪应力的测量提供新的手段。利用有限元法(FEM)建模仿真、正交实验设计以及各因素的极差分析,考查了微敏感结构宽度、厚度和凸出壁面高度对底层隔板固有频率和压阻灵敏度的影响规律,完成了底层隔板的结构优化设计。仿真结果显示:微敏感结构厚度对隔板固有频率和灵敏度影响最大,提升敏感结构高度能够有效提高压阻灵敏度,固有频率和压阻灵敏度受微敏感结构宽度变化影响很小。基于绝缘体上硅技术,利用电感耦合等离子体刻蚀工艺形成底层隔板结构,反应离子刻蚀工艺完成对敏感结构的释放,所加工底层隔板的整体尺寸为5.9mm×10.1mm×0.39mm。底层隔板的动态特性测试表明样件固有频率为1 453.1Hz,与有限元仿真结果的最大偏差为4.4%。
- 马骋宇马炳和孙海浪庄成乾
- 关键词：MEMS绝缘体上硅正交实验设计
- 一种可用于高温环境下壁面剪应力测量的底层隔板微传感器及其制造方法
- 本发明公开了一种可用于高温环境下壁面剪应力测量的底层隔板微传感器及其制造方法，属于传感器技术领域。该微传感器主要包括凸出隔板2、悬臂梁3、梁根部4、U型环凹槽5、力敏电阻6、基体7、导线8和焊盘9；该底层隔板微传感器的制...
- 马炳和马骋宇邓进军
- 文献传递
- 耐高温底层隔板式壁面剪应力微传感器制造工艺
- 流体壁面剪应力(Wall shear stress)又被称为摩阻应力，是流体力学的基本参量之一。它的有效测量是精确掌握摩擦阻力的基础，也是判断边界层流动状态的重要依据。采用微机电系统(MEMS)技术制备的剪应力微传感器具...
- 马骋宇
- 关键词：高超声速飞行微传感器
- 文献传递
- 一种可用于高温环境下壁面剪应力测量的底层隔板微传感器及其制造方法
- 本发明公开了一种可用于高温环境下壁面剪应力测量的底层隔板微传感器及其制造方法，属于传感器技术领域。该微传感器主要包括凸出隔板2、悬臂梁3、梁根部4、U型环凹槽5、力敏电阻6、基体7、导线8和焊盘9；该底层隔板微传感器的制...
- 马炳和马骋宇邓进军
- 文献传递
- 一种高指向性MEMS声矢量传感器结构设计与分析
- 2012年
- 设计了一种高指向性微机电系统(MEMS)声矢量传感器,结构采用了硅-玻璃(SOG)工艺,增大流体间隙,减小振动阻尼,并利用ANSYS软件分析了流体间隙对指向性的影响,以验证结构的高指向性。结果表明,在流体间隙从5μm增大到30μm时,振动振幅增大30倍,相位差最高增大126°,当入射角度变化量为80°时,相位差变化量增大了40°,传感器指向性得到了显著提高。此种设计有助于促进声矢量传感器的发展。
- 刘振亚苑伟政邓进军任森马骋宇
- 关键词：微机电系统声矢量传感器相位差
- 基于法珀腔的碳化硅基高温压力传感器及其制备方法
- 本发明公开了一种基于法珀腔的碳化硅基高温压力传感器及其制备方法，属于微机电系统(MEMS)领域。该传感器主要包括碳化硅基底1，碳化硅敏感薄膜3及碳化硅光纤4；所述碳化硅基底1上有一置于中心位置的非贯通空腔，碳化硅基底1上...
- 苑伟政马志波马炳和邓进军张晗马骋宇
- 文献传递
- 壁面剪应力测量底层隔板数学模型研究被引量：1
- 2012年
- 为指导器件研发设计和测量工作,提出了一种建立底层隔板壁面剪应力-压差数学模型的方法。通过量纲分析确定壁面剪应力和压差之间关系;结合具体器件,采用CFD方法计算出若干组壁面剪应力、压差的值;通过非线性回归获得该器件的壁面剪应力-压差数学模型。将建立的模型与实测数据进行对比,结果表明:二者能够较好地吻合,证明提出的方法是有效的。并应用该方法设计并加工了一种压阻式微机电系统(MEMS)底层隔板。
- 孙海浪马炳和邓进军马骋宇
- 关键词：数学模型压差微机电系统
- 底层隔板式流体壁面剪应力传感器的可控变温模拟加载系统
- 底层隔板式流体壁面剪应力传感器的可控变温模拟加载系统，共包括微位移装置、底层隔板式流体壁面剪应力传感器、精密恒温箱以及数据采集系统；微位移装置为底层隔板式流体壁面剪应力传感器的敏感悬臂梁结构提供精密可控的位移量加载；精密...
- 马炳和马骋宇邓进军
