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李志
作品数:
5
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供职机构:
西安电子科技大学微电子学院宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
电子电信
理学
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合作作者
王琳
西安电子科技大学微电子学院宽禁...
王晓晨
西安电子科技大学微电子学院宽禁...
查冬
西安电子科技大学微电子学院宽禁...
戴显英
西安电子科技大学微电子学院宽禁...
付毅初
西安电子科技大学微电子学院宽禁...
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机构
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西安电子科技...
作者
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戴显英
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查冬
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王晓晨
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李志
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王琳
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郝跃
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西安电子科技...
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4篇
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Si基Ge沟道pMOSFET阈值电压模型
在综合考虑短沟道效应和漏致势垒降低效应的基础上,通过求解泊松方程,建立了小尺寸Si基Ge沟道pMOSFET阈值电压模型,其模型计算值与实验结果吻合。模拟分析表明,当Ge沟道长度小于200mm时,阈值电压受沟道长度、虚拟衬...
李志
戴显英
查冬
王晓晨
王琳
付毅初
宁静
杨程
郑若川
关键词:
短沟道效应
阈值电压
晶圆级单轴应变SOI研究
将4英寸SOI片在自制的弧形弯曲台上进行机械弯曲,弯曲的硅片在250℃下退火20h,得到了单轴张应变的SOI样品。弯曲半径为0.75m的应变SOI样品的拉曼频移为520.3cm-1,相对于体硅,其拉曼频移差为-0.3cm...
戴显英
付毅初
杨程
郑若川
王琳
张鹤鸣
郝跃
王宗伟
宁静
王晓晨
查冬
李志
关键词:
集成电路
弹塑性力学
表面Ge沟道pMOSFET阈值电压模型
2012年
基于MOS器件的短沟道效应和漏致势垒降低效应理论,通过求解泊松方程,建立了表面Ge沟道pMOSFET的阈值电压模型.基于该模型对表面Ge沟道MOSFET器件的沟道长度、栅氧化层厚度、衬底掺杂浓度、SiGe虚拟衬底中的Ge含量等结构参数以及漏源电压对阈值电压的影响进行了模型模拟分析.模拟结果表明,当沟道长度小于200nm时,短沟道效应和漏致势垒降低效应对阈值电压影响较大,而当沟道长度超过500nm时,短沟道效应和漏致势垒降低效应对阈值电压的影响可以忽略.模型计算结果与实验结果吻合较好.
戴显英
李志
张鹤鸣
郝跃
王琳
查冬
王晓晨
付毅初
关键词:
阈值电压模型
短沟道效应
应变Ge价带色散模型研究
基于kp微扰理论,通过引入应变哈密顿微扰项,推导建立了双轴应变Ge(100)价带色散关系模型。模型适于任意晶向弛豫Si1-xGex虚衬底上的应变Ge,通过该模型可获得任意K方向应变Ge的价带结构和空穴有效质量。
戴显英
宁静
付毅初
王宗伟
宋建军
张鹤呜
郝跃
王琳
王晓晨
查冬
李志
关键词:
半导体材料
SiGe RPCVD流体动力学模拟
基于商用RPCVD设备结构参数,建立了RPCVD反应室结构模型;基于反应室模型,计算了雷诺数Re,确定了RPCVD的流体模型;采用FLUENT软件,模拟了RPCVD反应室的温度场、密度场、速度场,并确定了工艺优化参数。
戴显英
竹毅初
邵晨峰
吉瑶
郭静静
宁静
郝跃
张鹤鸣
王晓晨
李志
王琳
查冬
关键词:
计算流体动力学
模拟仿真
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