陈江恩
- 作品数：3 被引量：4H指数：1
- 供职机构：河北大学电子信息工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金河北省自然科学基金教育部科学技术研究重点项目更多>>
- 相关领域：电气工程理学一般工业技术更多>>
- 外延LSCO/PZT/LSCO铁电薄膜电容器的结构和性能
- 缺陷化学对钙钛矿氧化物的结构和性能有很大的影响,氧化物薄膜在缺氧环境中退火,薄膜中会产生大量的氧空位等缺陷结构。本文制备了外延的钙钛矿氧化物LaNiO3、La0.5Sr0.5CoO3和Pb(Zr0.4Ti0.6)O3薄膜...
- 陈江恩
- 关键词：氧空位
- 文献传递
- La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3/Pb(Zr_(0.4)Ti_(0.6))O_3/La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3铁电电容器的结构和性能研究
- 2010年
- 采用磁控溅射法和脉冲激光沉积法,在SrTiO3(001)衬底上制备了La0.5Sr0.5CoO3(70 nm)/Pb(Zr0.4Ti0.6)O3(70 nm)/La0.5Sr0.5CoO3(70 nm)(LSCO/PZT/LSCO)铁电电容器异质结。X射线衍射结果表明:LSCO和PZT薄膜均为外延结构。在5 V的外加电压下,LSCO/PZT/LSCO电容器具有较低的矫顽电压(0.49 V),较高的剩余极化强度(41.7μC/cm2)和较低的漏电流密度(1.97×10-5A/cm2),LSCO/PZT/LSCO电容器的最大介电常数为1073。漏电流的分析表明:当外加电压小于0.6 V时,电容器满足欧姆导电机制;当外加电压大于0.6 V时,符合空间电荷限制电流(SCLC)导电机制。
- 陈江恩刘保亭孙杰郭延岭马蕾娄建忠彭英才
- 关键词：铁电电容器PZT导电机制
- 非晶Ni-Al阻挡层对快速退火制备的硅基Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3薄膜结构及物性影响的研究被引量：4
- 2010年
- 应用非晶Ni-Al薄膜作为扩散阻挡层,采用磁控溅射法和溶胶-凝胶法在Pt/TiO2/SiO2/Si（001）衬底上制备了Pt/Ni-Al/Ba0.6Sr0.4TiO3/Ni-Al/Pt电容器结构,研究了在650~800℃温度范围内快速退火（RTA）工艺对电容器结构和物理性能的影响。结果表明：在外加电场为-100 kV/cm时,700℃和750℃退火样品的介电常数达到最大,分别为150和170。非晶Ni-Al薄膜的应用可以有效地降低BST薄膜的漏电流密度。650℃退火样品在整个测试电场范围内满足欧姆导电机制;700℃、750℃和800℃退火样品分别在电压低于-3.67 V、-2.65 V和-2.14 V时满足欧姆导电机制,在电压高于-3.67 V、-2.65 V和-2.14 V时满足普尔-弗兰克导电机制。
- 孙杰刘保亭陈江恩娄建忠周阳
- 关键词：BST薄膜快速退火导电机制
