陈婧
- 作品数：3 被引量：2H指数：1
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
- Su-8胶-金属复合材料电热微驱动器被引量：2
- 2008年
- 针对以金属嵌入式Su-8光刻胶作为新型弯曲梁式微驱动器结构材料的特点,在仿真分析过程中,考虑了狭小空气间隙中热传导机制的影响。分析结果表明,器件的工作电压随着悬空高度的增加而降低;当悬空高度达到270μm时,可忽略热传导机制。在微加工工艺流程中,引入新的牺牲层材料,显著提升了工艺流程的兼容性和加工效果的稳定性。在此基础上研制的新型电热微驱动器实测位移由11.5μm增大至13.9μm,这一结果与传统多晶硅材料弯曲梁式微驱动器的驱动位移5μm相比有显著提高,而能耗亦从180mW降至21.6mW,器件性能得到改善。
- 陈婧丁桂甫杨卓青
- 关键词：微机电系统
- 柔顺机构双稳态电热微驱动器技术研究
- 微驱动器是微机电系统/(Micro Electro Mechanical System, MEMS/)的重要组成部分,用于构成其中的驱动或执行单元,担负着微系统内能量转换、运动和力的传递及对系统信息进行响应等功能。而双稳...
- 陈婧
- 关键词：双稳态
- 文献传递
- 应用于MEMS加工技术的锌牺牲层工艺研究
- 牺牲层作为辅助性过渡层，其技术是MEMS加工中较为重要的一项技术。电沉积锌牺牲层以其镀速快、刻蚀快且选择性好、柔软易打磨、保护金属主要结构等特有的优点成为较理想的MEMS牺牲层材料。本文探讨了在五金工业中常用的电镀锌技术...
- 陈婧丁桂甫汪红姚景元
- 关键词：MEMS镀锌
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