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杨卓青

作品数：112 被引量：79H指数：5
供职机构：上海交通大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 86篇专利
  • 24篇期刊文章
  • 1篇会议论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 15篇自动化与计算...
  • 9篇电子电信
  • 8篇机械工程
  • 8篇一般工业技术
  • 7篇电气工程
  • 7篇文化科学
  • 3篇医药卫生
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇航空宇航科学...
  • 1篇理学

主题

  • 31篇微机电系统
  • 31篇机电系统
  • 31篇电系统
  • 26篇衬底
  • 19篇绝缘衬底
  • 18篇弹簧
  • 18篇惯性开关
  • 17篇微机电系统技...
  • 16篇蛇形弹簧
  • 15篇传感
  • 14篇微加工
  • 14篇MEMS
  • 13篇电极
  • 13篇感器
  • 13篇传感器
  • 12篇图形化
  • 11篇电学
  • 9篇微机械
  • 9篇纳米
  • 6篇支座

机构

  • 110篇上海交通大学
  • 4篇安徽大学
  • 3篇淮海工业集团...
  • 2篇上海交通大学...
  • 2篇西安机电信息...
  • 1篇江南大学
  • 1篇上海工程技术...
  • 1篇哥伦比亚大学
  • 1篇中国航空工业...

作者

  • 112篇杨卓青
  • 90篇丁桂甫
  • 27篇王艳
  • 22篇赵小林
  • 19篇汪红
  • 11篇姚锦元
  • 9篇徐秋
  • 9篇蔡豪刚
  • 8篇张丛春
  • 8篇戴旭涵
  • 8篇周镇威
  • 7篇陶凯
  • 6篇李健
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  • 5篇程萍
  • 5篇黄韬
  • 5篇孙滨
  • 5篇李红芳
  • 4篇王佩红
  • 4篇任超

传媒

  • 3篇微纳电子技术
  • 3篇传感器与微系...
  • 2篇振动与冲击
  • 2篇测控技术
  • 2篇功能材料与器...
  • 1篇机械工程学报
  • 1篇机械强度
  • 1篇中国机械工程
  • 1篇低压电器
  • 1篇强激光与粒子...
  • 1篇功能材料
  • 1篇材料工程
  • 1篇传感技术学报
  • 1篇半导体光电
  • 1篇纳米技术与精...
  • 1篇无人系统技术
  • 1篇智能计算机与...

年份

  • 4篇2024
  • 6篇2023
  • 5篇2022
  • 13篇2021
  • 3篇2020
  • 4篇2019
  • 5篇2018
  • 6篇2017
  • 6篇2016
  • 3篇2015
  • 6篇2014
  • 5篇2013
  • 13篇2012
  • 8篇2011
  • 11篇2010
  • 4篇2009
  • 9篇2008
  • 1篇2007
共 112 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
带有凸条平板的MEMS结构压膜阻尼效应分析被引量：3
2010年
针对带有凸条平板的MEMS结构压膜阻尼效应,利用基本Reynolds方程和特定的第一类边界条件,给出一种压膜阻尼系数的解析分析方法。在带有凸条平板的MEMS微开关设计与制作的基础上,利用引入该压膜阻尼系数的Simulink模型仿真分析了微开关的动态响应特性,得到的阈值加速度与其落锤测试结果是一致的,从而验证了所提出的带有凸条平板压膜阻尼效应理论分析的正确性。
周镇威杨卓青蔡豪刚丁桂甫
关键词：微机电系统解析解
一种步进吸合静电锁定的微机械惯性开关
本发明提供一种步进吸合静电锁定的微机械惯性开关，其中：阵列式固定电极为阵列式分布并通过布局连线构成，与吸合电极通过空气间隙相互绝缘并位于绝缘衬底上；柔性连接多平面式移动电极与连体蛇形弹簧相连，通过弹簧固定支座形成悬空可动...
李健王艳杨卓青丁桂甫
多向振动阈值传感器设计及其纳微柔性电极接触增强机制研究
基于MEMS技术的无源振动阈值传感器因其待机功耗为零、处理电路简单、不易受干扰等特点已逐步成为物联网系统中首选的振动监测传感器件.然而,目前的阈值传感器仅能对单一方向的振动加速度敏感,更为重要的是其接通信号的脉冲宽度极为...
杨卓青
一种用于降低等离子体显示器功耗的场发射阵列制备方法
<B>本发明公开</B> <B>一种用于降低等离子体显示器功耗的场发射阵列制备方法，先进行</B> <B>PDP</B> <B>前面板的清洗烘干；均匀碳纳米管薄膜的制作；在碳纳米管上制备透明薄膜；旋涂光刻胶、烘胶、曝光、...
王艳朱斌刘启发杨卓青丁桂甫
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阈值可调的MEMS惯性开关
本发明提供了一种阈值可调的MEMS惯性开关，包括：感应上电极，被配置为在惯性的作用下向感应下电极的方向移动，与感应下电极接触时，形成脉冲感应信号；感应下电极，被配置为与壳体固定设置，与感应上电极接触时，形成脉冲感应信号；...
杨卓青张鹏磊任超李亚辉丁桂甫张浩东连江凯
文献传递
基于微电子机械技术的灭弧电接触器件
本发明公开了一种基于微电子机械技术的灭弧电接触器件，属于微电子机械技术领域。本发明包括：上、下两个部分，上下两部分结构通过集成制造的通孔连接柱结合成为一体，构成电接触器件本体。上部结构包括支撑体和上电极及其触点；下部结构...
丁桂甫周建胜杨卓青刘瑞
文献传递
一种表面贴装用的TGV集成垂直互连结构及其制作方法
本发明提供一种表面贴装用的TGV集成垂直互连结构，包括：玻璃基板，所述玻璃基板具有第一表面和与第一表面相对的第二表面；以及金属填充通孔，所述金属填充通孔贯穿所述玻璃基板的第一表面和第二表面。本发明提出的TGV可用作集成全...
杨卓青李亚辉郑玮张浩东王艳丁桂甫
文献传递
通用性薄膜材料图形化方法
本发明公开一种微机械加工技术领域的通用性薄膜材料图形化方法。本发明通过光刻或掩模电镀在基片上制备一次性平面微模具；在整个基片范围内淀积薄膜材料，填满微模具的空隙；通过研磨加工去除薄膜高出微模具的多余部分，并减至所需厚度；...
丁桂甫蔡豪刚杨卓青
文献传递
一种基于连续鼻腔气流记录的鼻周期测定方法
本发明涉及一种基于连续鼻腔气流记录的鼻周期测定方法，包括：获取连续的鼻腔气流流量数据；提取鼻腔气流流量数据的上包络线和下包络线，并计算上包络线和下包络线的差值得到气流流量幅度变化曲线；对气流流量幅度变化曲线进行平滑处理，...
杨卓青张浩东苏开明殷善开
连体蛇形弹簧微型惯性电学开关
一种连体蛇形弹簧微型惯性电学开关，属于微机电系统技术领域。本发明包括：质量块电极、多孔梁固定电极、连体蛇形弹簧、绝缘衬底、缓冲层、弹簧支撑座以及梁支撑座；缓冲层位于绝缘衬底上方、质量块电极下方，弹簧支撑座以及梁支撑座固定...
丁桂甫杨卓青赵小林刘瑞
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